特許
J-GLOBAL ID：200903097071798193

欠陥検査方法及び欠陥検査装置

発明者：
横山 廣一

横山 廣一 について

, 
中島 豊

中島 豊 について


出願人/特許権者：
三菱住友シリコン株式会社

三菱住友シリコン株式会社 について


代理人 (1件)： 工藤 宣幸
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-174075
公開番号（公開出願番号）：特開2002-365235
出願日： 2001年06月08日
公開日（公表日）： 2002年12月18日
要約：
【要約】【課題】 ウェーハ表面の欠陥が真の欠陥か否かを正確に判定し、より確実な品質保証、より正確な品質管理を行う。【解決手段】 真の欠陥か否かの判断要素として欠陥の発生個数及び発生位置を用いた。これらにより、欠陥の密集度を検出し、当該密集度を設定値と比較して、欠陥が真の欠陥か否かを判断する。検査視野より小さい領域内にある欠陥個数と、検査視野内の全欠陥個数との割合で欠陥の密集度を検出し、真の欠陥か否かを判断する。各欠陥の重心位置の分布からn次近似曲線を求め、そのn次近似曲線に沿った設定幅内に存在する欠陥個数と、検査視野内の全欠陥個数との割合で欠陥の密集度を検出し、真の欠陥か否かを判断する。各欠陥間の距離の平均値に対してオフセット値を加算又は減算した値より小さな距離の、全体に対する割合で、真の欠陥か否かを判断する。
請求項（抜粋）：
検査対象物の表面に観察される欠陥の検査を行う欠陥検査方法において、上記欠陥が真の欠陥か否かを判断する判断要素として、上記欠陥の発生個数及び発生位置を用いたことを特徴とする欠陥検査方法。
IPC (4件)：
G01N 21/956 ,  G01B 11/30 ,  G06T 1/00 305 ,  H01L 21/66
FI (4件)：
G01N 21/956 A ,  G01B 11/30 A ,  G06T 1/00 305 ,  H01L 21/66 J
Fターム (56件)：
2F065AA03 ,  2F065AA07 ,  2F065AA22 ,  2F065BB01 ,  2F065BB24 ,  2F065CC19 ,  2F065DD04 ,  2F065FF04 ,  2F065JJ03 ,  2F065JJ26 ,  2F065MM03 ,  2F065MM04 ,  2F065PP12 ,  2F065PP24 ,  2F065QQ04 ,  2F065QQ06 ,  2F065QQ13 ,  2F065QQ17 ,  2F065QQ24 ,  2F065QQ27 ,  2F065QQ34 ,  2F065RR02 ,  2F065RR06 ,  2F065UU05 ,  2G051AA51 ,  2G051AB01 ,  2G051AB02 ,  2G051CA03 ,  2G051DA03 ,  2G051DA07 ,  2G051EA11 ,  2G051EA12 ,  2G051EA14 ,  2G051EB01 ,  2G051EC03 ,  2G051ED23 ,  2G051FA01 ,  4M106AA01 ,  4M106BA10 ,  4M106CB19 ,  4M106DB04 ,  4M106DB18 ,  4M106DB21 ,  4M106DJ02 ,  4M106DJ04 ,  4M106DJ17 ,  4M106DJ20 ,  5B057AA03 ,  5B057BA02 ,  5B057DA03 ,  5B057DB02 ,  5B057DB09 ,  5B057DC02 ,  5B057DC03 ,  5B057DC04 ,  5B057DC06
引用特許：
出願人引用 (3件)
  • 異物の数を測定する方法
    公報種別：公開公報   出願番号：特願平9-005084   出願人：松下電器産業株式会社
  • 表面欠陥検査装置
    公報種別：公開公報   出願番号：特願平6-235507   出願人：富士ゼロックス株式会社
  • 結晶欠陥検出装置
    公報種別：公開公報   出願番号：特願平6-236581   出願人：株式会社神戸製鋼所
審査官引用 (3件)
  • 異物の数を測定する方法
    公報種別：公開公報   出願番号：特願平9-005084   出願人：松下電器産業株式会社
  • 表面欠陥検査装置
    公報種別：公開公報   出願番号：特願平6-235507   出願人：富士ゼロックス株式会社
  • 結晶欠陥検出装置
    公報種別：公開公報   出願番号：特願平6-236581   出願人：株式会社神戸製鋼所

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