特許
J-GLOBAL ID：200903097102712560
走査型寸法測定装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
丹羽 宏之 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-196676
公開番号（公開出願番号）：特開平9-042928
出願日： 1995年08月01日
公開日（公表日）： 1997年02月14日
要約：
【要約】【目的】 安価で小型の、2次元寸法の検出できる走査型寸法測定装置を提供する。【解決手段】 半導レーザ100からのレーザビーム110を、2次元ガルバノミラー101で2次元に偏向し、被測定物112に照射し、光位置検出素子(PSD)103上の投影像113より被測定物112の各部の寸法を検出する。
請求項（抜粋）：
レーザビーム発生手段と、このレーザービーム発生手段からレーザービームを受けて偏向するガルバノミラーと、このガルバノミラーからのレーザービームを受けてその入射位置を検出する光入射位置検出手段とを備え、前記ガルバノミラーと前記光入射位置検出手段との間に被測定物を配置しこの被測定物の寸法を測定する走査型寸法測定装置。
IPC (3件)：
G01B 11/02
, G02B 26/10
, G02B 26/10 104
G01B 11/02 Z
, G02B 26/10 C
, G02B 26/10 104 Z
