特許
J-GLOBAL ID:200903097229146350

レーザ走査型顕微鏡

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (5件): 鈴江 武彦 ,  村松 貞男 ,  坪井 淳 ,  河野 哲 ,  風間 鉄也
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2002-182798
公開番号(公開出願番号):特開2004-029205
出願日: 2002年06月24日
公開日(公表日): 2004年01月29日
要約:
【課題】半導体光源を用い、装置の小型化、画質の維持を図るレーザ走査型顕微鏡を提供すること。【解決手段】レーザ光を走査光学系本体(12)内の走査光学系(20)により試料(S)上で走査し、該試料から発する蛍光または反射光を検出するレーザ走査型顕微鏡であり、半導体プロセスによって製作された光源(1)と該光源の出射側に設けられた光ファイバ(3)とからなる光源部(13)を前記走査光学系本体(12)に組み込む。【選択図】 図1
請求項(抜粋):
レーザ光を走査光学系本体内の走査光学系により試料上で走査し、該試料から発する蛍光または反射光を検出するレーザ走査型顕微鏡であり、 半導体プロセスによって製作された光源と該光源の出射側に設けられた光ファイバとからなる光源部を前記走査光学系本体に組み込んだことを特徴とするレーザ走査型顕微鏡。
IPC (2件):
G02B21/16 ,  G02B21/06
FI (2件):
G02B21/16 ,  G02B21/06
Fターム (6件):
2H052AA07 ,  2H052AA09 ,  2H052AB01 ,  2H052AC15 ,  2H052AC26 ,  2H052AC34
引用特許:
審査官引用 (6件)
全件表示

前のページに戻る