特許

J-GLOBAL ID：200903097234745238

蒸着用メタルマスク及びそれを用いた蒸着パターンの製造方法

発明者： 真淵 尚直 ,  館林 直樹 ,  浅井 正三
出願人/特許権者： キヤノン・コンポーネンツ株式会社
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-398993
公開番号（公開出願番号）：特開2005-154879
出願日： 2003年11月28日
公開日（公表日）： 2005年06月16日
要約：

【課題】有機EL表示パネルの有機発光材料の蒸着パターンをガラス基板上に位置精度良く形成するための蒸着用メタルマスクを提供する。【解決手段】蒸着材料をガラス基板に蒸着するための複数の蒸気通孔を有する蒸着用メタルマスクを、熱膨張係数の異なる少なくとも2種以上の金属層または合金層を積層した積層体とする。その際、それぞれの金属層または合金層の厚みを適切に決定することによって、該蒸着用メタルマスクの平面方向の熱膨張係数を、蒸着の施されるガラス基板の熱膨張係数と略同一に調整することができる。この蒸着用メタルマスクを用いることにより、ガラス基板とマスクとの熱膨張差が無くなり、位置精度の良い蒸着パターンを形成することができる。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

平面基板にマスク蒸着するための複数の蒸気通孔を有する蒸着用メタルマスクにおいて、該蒸着用メタルマスクが少なくとも2種以上の異なる金属層からなる積層体であることを特徴とする蒸着用メタルマスク。

IPC (4件)：

C25D1/10 ,  C23C14/04 ,  H05B33/10 ,  H05B33/14

FI (4件)：

C25D1/10 ,  C23C14/04 A ,  H05B33/10 ,  H05B33/14 A

Fターム (12件)：

3K007AB02 ,  3K007AB17 ,  3K007AB18 ,  3K007DB03 ,  3K007FA01 ,  4K029AA09 ,  4K029AA24 ,  4K029BA62 ,  4K029BB03 ,  4K029CA01 ,  4K029HA02 ,  4K029HA03

引用特許：

出願人引用 (2件)

• エレクトロルミネッセンス表示パネルの製造方法及び蒸着マスク
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2002-252452   出願人：三洋電機株式会社
• 有機EL素子用蒸着マスクと有機EL素子用蒸着マスクの製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2002-149634   出願人：九州日立マクセル株式会社