特許

J-GLOBAL ID：200903067786534367

エレクトロルミネッセンス表示パネルの製造方法及び蒸着マスク

発明者： 西川 龍司 ,  山田 努
出願人/特許権者： 三洋電機株式会社
代理人 (1件)： 吉田 研二 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-252452
公開番号（公開出願番号）：特開2003-157974
出願日： 2002年08月30日
公開日（公表日）： 2003年05月30日
要約：

【要約】【課題】 EL表示パネルの蒸着パターニング精度を向上する。【解決手段】 ガラス基板上に蒸発源からの蒸発物質を選択的に通過させてエレクトロルミネッセンス素子の蒸着層を所望パターンに形成するための開口部を備える蒸着マスクを蒸発源とガラス基板との間に配置して蒸着を行う。そして、この蒸着マスクの材料として、熱膨張係数がガラスの熱膨張係数に対して160%以下、30%以上の材料を採用することで、蒸発源に近く高温となる蒸着マスクの熱変形を最小限とでき、蒸着パターニング精度を向上できる。

請求項（抜粋）：

ガラス基板上にエレクトロルミネッセンス素子がマトリクス配置されるエレクトロルミネッセンス表示パネルの製造方法であって、前記エレクトロルミネッセンス素子の蒸着素子層を形成するために蒸発源で蒸着素子材料を蒸発させて、ガラス基板上に蒸着する際に、熱膨張係数がガラスの熱膨張係数に対して160%以下、30%以上の材料を用いた蒸着マスクを用い、該蒸着マスクを前記蒸発源と前記ガラス基板の間に配置して、前記蒸着素子材料の蒸着と同時に前記蒸着素子層をパターニングすることを特徴とするエレクトロルミネッセンス表示パネルの製造方法。

IPC (3件)：

H05B 33/10 ,  C23C 14/24 ,  H05B 33/14

FI (3件)：

H05B 33/10 ,  C23C 14/24 G ,  H05B 33/14 A

Fターム (12件)：

3K007AB18 ,  3K007BA06 ,  3K007CA01 ,  3K007DB03 ,  3K007FA01 ,  4K029AA09 ,  4K029AA24 ,  4K029BB03 ,  4K029BD00 ,  4K029CA01 ,  4K029HA02 ,  4K029HA04

引用特許：

審査官引用 (6件)

• 光学的素子及びその製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平10-271738   出願人：ソニー株式会社
• 薄膜形成方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平10-335926   出願人：トヨタ自動車株式会社
• 特開平2-266524
  
• 有機電界発光素子の製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平10-344005   出願人：東レ株式会社
• メタルマスク構造体及びその製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2000-255781   出願人：日本電気株式会社
• 特開平2-266524