特許
J-GLOBAL ID：200903097287239180

レーザー加工装置

発明者：
重松 孝一

重松 孝一 について

, 
三浦 誠治

三浦 誠治 について


出願人/特許権者：
株式会社ディスコ

株式会社ディスコ について


代理人 (2件)： 小野 尚純 ,  奥貫 佐知子
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-354558
公開番号（公開出願番号）：特開2006-159254
出願日： 2004年12月07日
公開日（公表日）： 2006年06月22日
要約：
【課題】 チャックテーブルの加工送り開始位置から加工送り終了位置までの全区間に渡って被加工物にパルスレーザー光線を照射して均一な加工を施すことができるレーザ加工装置を提供する。【解決手段】 被加工物を保持するチャックテーブル36と、チャックテーブルに保持された被加工物にパルスレーザー光線を照射するレーザー光線照射手段5と、チャックテーブルとレーザー光線照射手段を相対的に加工送りする加工送り手段37とを具備するレーザー加工装置であって、チャックテーブルの加工送り量を検出する送り量検出手段と、送り量検出手段からの検出信号に基づいてレーザー光線照射手段を制御する制御手段10とを具備し、制御手段は送り量検出手段からの信号に基づいて所定加工送り量毎に該レーザー光線照射手段に照射信号を出力する。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
被加工物を保持するチャックテーブルと、該チャックテーブルに保持された被加工物にパルスレーザー光線を照射するレーザー光線照射手段と、該チャックテーブルと該レーザー光線照射手段を相対的に加工送りする加工送り手段と、を具備するレーザー加工装置において、 該チャックテーブルの加工送り量を検出する送り量検出手段と、該送り量検出手段からの検出信号に基づいて該レーザー光線照射手段を制御する制御手段とを具備し、 該制御手段は、該送り量検出手段からの信号に基づいて所定加工送り量毎に該レーザー光線照射手段に照射信号を出力する、 ことを特徴とするレーザー加工装置。
IPC (4件)：
B23K 26/02 ,  B23K 26/00 ,  B23K 26/10 ,  H01L 21/301
FI (4件)：
B23K26/02 A ,  B23K26/00 M ,  B23K26/10 ,  H01L21/78 B
Fターム (6件)：
4E068AE00 ,  4E068CB02 ,  4E068CE02 ,  4E068CE04 ,  4E068CE09 ,  4E068DA10
引用特許：
出願人引用 (1件)
  • 特許第3408805号公報
審査官引用 (9件)
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