特許
J-GLOBAL ID：200903097300768961
圧電体素子およびその製造方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
稲葉 良幸 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-049892
公開番号（公開出願番号）：特開2000-252544
出願日： 1999年02月26日
公開日（公表日）： 2000年09月14日
要約：
【要約】【課題】 クラックが生じにくい圧電体素子の製造方法【解決手段】 電気機械変換機能を備えた圧電体素子の製造方法である。チタンを含んだ材料を使用してチタン層(321)を形成する工程と、チタン層上に白金を含んだ材料を使用して白金層(322)を形成する工程と、チタン層(321)および白金層(322)を熱処理してチタンを拡散させ、下部電極(32)を形成する工程と、を備えている。下部電極におけるストレスが緩和され、圧電体薄膜焼成時にクラックを生じにくくなる。
請求項（抜粋）：
電気機械変換機能を有する圧電体素子において、添加物として有機物を含むゾルから形成された圧電体薄膜と、前記圧電体薄膜側に形成される白金成分を多く含む上層およびチタンと白金との合金からなる下層を有する下部電極と、を備えていることを特徴とする圧電体素子。
IPC (2件)：
FI (2件)：
H01L 41/22 Z
, H01L 41/08 C
