リニアモータ、ステージ装置及び露光装置

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：大塚康徳 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-310053
公開番号（公開出願番号）：特開2003-116261
出願日： 2001年10月05日
公開日（公表日）： 2003年04月18日
要約：

【要約】【課題】製作が容易な構造を有するリニアモータを提供する。【解決手段】固定ヨーク303を構成する複数の固定ヨーク部材は、固定子支持部材301によって互いに面接触することなく支持されている。各固定ヨーク部材は、複数の磁性薄板を互いに絶縁して積層した構造を有する。

請求項（抜粋）：

固定子と可動子を有するリニアモータであって、前記固定子は、固定ヨークと、前記固定ヨークの外側に配置された固定コイルと、前記固定ヨークを支持する固定子支持部材とを有し、前記可動子は、前記固定コイルの外側に配置された可動磁石を有し、前記固定ヨークは、前記固定子支持部材によって互いに面接触することなく支持された複数の固定ヨーク部材を含み、各固定ヨーク部材は、複数の磁性薄板を互いに絶縁して積層した構造を有することを特徴とするリニアモータ。

IPC (3件)：

H02K 41/03 , H01L 21/027 , H02K 41/02

FI (4件)：

H02K 41/03 A , H02K 41/02 A , H02K 41/02 Z , H01L 21/30 503 A

Fターム (21件)：

5F046CC01 , 5F046CC02 , 5F046CC19 , 5H641BB06 , 5H641BB14 , 5H641BB19 , 5H641GG02 , 5H641GG04 , 5H641GG07 , 5H641GG11 , 5H641GG12 , 5H641HH03 , 5H641HH05 , 5H641HH07 , 5H641HH12 , 5H641HH13 , 5H641HH14 , 5H641JA06 , 5H641JB05 , 5H641JB09 , 5H641JB10

引用特許：

審査官引用 (6件)

リニアモータ
公報種別：公開公報出願番号：特願平10-274887 出願人：三洋電機株式会社
リニアモータ、並びにこれを用いたステージ装置及び露光装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平11-257364 出願人：株式会社ニコン
リニアモータ
公報種別：公開公報出願番号：特願平8-163966 出願人：日本オーチス・エレベータ株式会社, 株式会社明電舎

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