特許
J-GLOBAL ID：200903097547016245

基板搬送装置、基板載置棚および基板処理装置

発明者：
光吉 一郎

光吉 一郎 について


出願人/特許権者：
大日本スクリーン製造株式会社

大日本スクリーン製造株式会社 について


代理人 (1件)： 福島 祥人
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2006-352000
公開番号（公開出願番号）：特開2008-166370
出願日： 2006年12月27日
公開日（公表日）： 2008年07月17日
要約：
【課題】基板の搬送時間を十分に短縮できる基板搬送装置、基板載置棚および基板処理装置を提供する。【解決手段】インデクサブロックおよび処理ブロックからなる基板処理装置において、インデクサブロックと処理ブロックとの間で、基板WがインデクサロボットIRにより搬送される。インデクサロボットIRは回転ステージ250上で互いに上下に設けられた2つのハンドIRH1,IRH2を備える。一方のハンドIRH1に対して他方のハンドIRH2が鉛直方向に移動する。ハンドIRH1とハンドIRH2との高さの差は、インデクサブロックに搬入される基板Wが収納されたキャリアの基板収納溝間の間隔と等しくなるように調整できる。また、ハンドIRH1とハンドIRH2との高さの差は、インデクサブロックおよび処理ブロック間に設けられる基板載置部の支持板間の間隔と等しくなるように調整できる。【選択図】図4
請求項（抜粋）：
基板が略水平姿勢で収納される複数段の収納溝を有する収納容器と、基板が略水平姿勢で載置される複数段の収納棚を有する基板載置棚との間で基板を搬送する基板搬送装置であって、 互いに上下に設けられ、基板を略水平姿勢で保持する第1および第2の基板保持部と、 前記収納容器および前記基板載置棚に対して基板の受け渡しを行うために前記第1および第2の基板保持部を移動させるとともに略水平方向に進退させる駆動機構と、 前記第1および前記第2の基板保持部間の高さの差を調整する調整機構とを備え、 前記調整機構は、前記収納容器と前記第1および第2の基板保持部との間での基板の受け渡しの際に、前記第1および第2の基板保持部間の高さの差を前記収納容器の前記収納溝間の高さの差に調整し、前記基板載置棚と前記第1および第2の基板保持部との間での基板の受け渡しの際に、前記第1および第2の基板保持部間の高さの差を前記基板載置棚の収納棚間の高さの差に調整することを特徴とする基板搬送装置。
IPC (4件)：
H01L 21/677 ,  B65G 49/06 ,  B65G 49/07 ,  H01L 21/304
FI (4件)：
H01L21/68 A ,  B65G49/06 Z ,  B65G49/07 C ,  H01L21/304 648A
Fターム (22件)：
5F031CA02 ,  5F031CA05 ,  5F031DA01 ,  5F031FA01 ,  5F031FA02 ,  5F031FA07 ,  5F031FA09 ,  5F031FA11 ,  5F031FA12 ,  5F031FA15 ,  5F031FA25 ,  5F031GA04 ,  5F031GA43 ,  5F031GA47 ,  5F031GA48 ,  5F031GA49 ,  5F031GA50 ,  5F031MA02 ,  5F031MA03 ,  5F031MA06 ,  5F031MA23 ,  5F031PA02
引用特許：
出願人引用 (3件) 審査官引用 (2件)

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