基板処理装置

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：稲岡耕作 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-306885
公開番号（公開出願番号）：特開平10-150090
出願日： 1996年11月18日
公開日（公表日）： 1998年06月02日
要約：

【要約】【課題】基板の汚染を防止できるとともに、処理タクトを短縮できる基板処理装置を提供する。【解決手段】未処理の基板Wをインデクサロボット12から受け取って当該基板WをMTC33に搬送するための専用のロボット22,35 と、処理済の基板WをDTC34から取り出してインデクサロボット12に渡すための専用のロボット37とを備えるようにした。【効果】未処理の基板からパーティクルがロボットに転移していても、処理済の基板に当該パーティクルが付着することはないから、基板の再汚染を防止できる。処理ユニットに対して基板搬送動作と基板搬出動作とを同時に実行できるから、処理タクトの向上を図れる。

請求項（抜粋）：

複数枚の基板を収容するためのカセットが載置されるカセット載置部と、基板を洗浄するための少なくとも1つの洗浄処理部を含み、基板に一連の処理を施すための複数の処理ユニットと、前記カセット載置部に載置されるカセットに収納されている未処理の基板を取り出すための基板取出アームと、前記いずれかの処理ユニットにおいて処理された後の基板を前記カセット載置部に載置されるカセットに収納するための基板収納アームと、前記基板取出アームから未処理の基板を受け取り、この受け取った基板を前記複数の処理ユニットのうちいずれかの処理ユニットに搬送するための第1の基板搬送ロボットと、前記複数の処理ユニットのうちいずれかの処理ユニットから処理済の基板を搬出し、この搬出された基板を前記基板収納アームに渡すための第2の基板搬送ロボットとを含むことを特徴とする基板処理装置。

IPC (3件)：

H01L 21/68 , H01L 21/027 , H01L 21/304 341

FI (3件)：

H01L 21/68 A , H01L 21/304 341 C , H01L 21/30 502 J

引用特許：

出願人引用 (5件)

基板搬送装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平3-337802 出願人：大日本スクリーン製造株式会社
洗浄装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平6-016979 出願人：東京エレクトロン株式会社, 東京エレクトロン九州株式会社
被処理体の搬送装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平7-120866 出願人：東京エレクトロン株式会社, 東京エレクトロン九州株式会社

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審査官引用 (5件)

基板搬送装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平3-337802 出願人：大日本スクリーン製造株式会社
洗浄装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平6-016979 出願人：東京エレクトロン株式会社, 東京エレクトロン九州株式会社
被処理体の搬送装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平7-120866 出願人：東京エレクトロン株式会社, 東京エレクトロン九州株式会社

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