特許
J-GLOBAL ID：200903097561091748
オンチップカラーフィルタ用フォトマスク及びそれを用いたオンチップカラーフィルタの製造方法
発明者：
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出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2007-166072
公開番号（公開出願番号）：特開2009-003329
出願日： 2007年06月25日
公開日（公表日）： 2009年01月08日
要約：
【課題】固体撮像素子の光電変換素子に対応した着色フィルタをフォトリソグラフィー法にて作製するにあたり、第2色(例えば、青色)フィルタ及び第3色(例えば、赤色)フィルタの開口(画素)領域を最大限に確保できるオンチップカラーフィルタ用フォトマスク及びそれを用いたオンチップカラーフィルタの製造方法を提供することを目的とする。【解決手段】第1色(例えば、緑色)カラーフィルタ形成用の透過パターン31と、第1色(例えば、緑色)カラーフィルタ形成用の透過パターン31の四隅の連結部に透過率制御領域32と、遮光パターン33とで構成されたオンチップカラーフィルタ用フォトマスクを用いて緑色フィルタを作製する。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
固体撮像素子の光電変換素子に対応した各々平面視四角形状の着色フィルタをフォトリソグラフィー法にて作製するために使用するフォトマスクであって、
前記フォトマスクは、第2色、もしくは第3色フィルタの4辺に接するように市松模様状に配置された第1色フィルタを作製するための第1色フィルタ用フォトマスクであって、前記第1色フィルタに対応するように配置された四角形状の第1色フィルタ用パターンの4隅が接する連結部に透過率制御領域を設けたことを特徴とするオンチップカラーフィルタ用フォトマスク。
IPC (3件)：
G02B 5/20
, G03F 7/20
, G03F 1/08
G02B5/20 101
, G03F7/20 501
, G03F1/08 D
, G03F1/08 A
2H048BA02
, 2H048BA42
, 2H048BB02
, 2H048BB06
, 2H048BB47
, 2H095BB02
, 2H097LA11
出願人引用 (6件)
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審査官引用 (5件)
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