特許
J-GLOBAL ID：200903097617463813

吸収型多層膜NDフィルターの製造方法

発明者：
大上 秀晴

大上 秀晴 について


出願人/特許権者：
住友金属鉱山株式会社

住友金属鉱山株式会社 について


代理人 (1件)： 山本 正緒
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2007-043408
公開番号（公開出願番号）：特開2008-209443
出願日： 2007年02月23日
公開日（公表日）： 2008年09月11日
要約：
【課題】 基板である樹脂フィルムに可視光領域の透過光を減衰させる吸収型多層膜を設けた吸収型多層膜NDフィルターについて、吸収型多層膜の膜構造を変更することなく、光学特性に優れると同時に、高温高湿環境下においてもヒビ割れが発生しない吸収型多層膜NDフィルターを提供する。【解決手段】 成膜前の樹脂フィルムにプラズマ処理あるいはイオンビーム処理を施して、樹脂フィルムを0.2%以上熱収縮させる。その後、この樹脂フルムの少なくとも片面に、パッタリング法などにより酸化物誘電体膜層と金属吸収膜層とを交互に積層して吸収型多層膜を形成する。得られた吸収型多層膜NDフィルターは、温度80°C、湿度90%の環境試験機に24時間放置しても、吸収型多層膜にヒビ割れが発生しない。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
樹脂フィルムに可視光領域の透過光を減衰させる吸収型多層膜を設けた吸収型多層膜NDフィルターの製造方法であって、樹脂フィルムにプラズマ処理あるいはイオンビーム処理を施して、該樹脂フィルムを0.2%以上熱収縮させた後、該樹脂フルムの少なくとも片面に酸化物誘電体膜層と金属吸収膜層とを交互に積層して吸収型多層膜を形成することを特徴とする吸収型多層膜NDフィルターの製造方法。
IPC (1件)：
G02B 5/00
FI (1件)：
G02B5/00 A
Fターム (4件)：
2H042AA06 ,  2H042AA08 ,  2H042AA11 ,  2H042AA22
引用特許：
出願人引用 (2件) 審査官引用 (4件)
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