特許
J-GLOBAL ID：200903086403244969

吸収型多層膜NDフィルター

発明者：
大上 秀晴

大上 秀晴 について

, 
阿部 能之

阿部 能之 について

, 
中山 徳行

中山 徳行 について


出願人/特許権者：
住友金属鉱山株式会社

住友金属鉱山株式会社 について


代理人 (1件)： 上田 章三
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-180936
公開番号（公開出願番号）：特開2006-178395
出願日： 2005年06月21日
公開日（公表日）： 2006年07月06日
要約：
【課題】 薄膜の基板が適用された場合でも基板の反りが起こり難く、量産性に優れ、かつ波長に対し平坦な透過率減衰が得られる吸収型多層膜NDフィルターを提供する。【解決手段】 透過光を減衰させる吸収型多層膜が樹脂フィルム等の薄膜基板に設けられた吸収型多層膜NDフィルターであって、上記吸収型多層膜13、16がSiO2、Al2O3若しくはこれ等混合物から成る誘電体層14、17とNi単体若しくはNi系合金から成る金属膜層15、18とを交互に積層させた多層膜により構成され、この吸収型多層膜が基板の両面にこの基板を中心にして互いに対称な膜構造となるようにそれぞれ形成されていると共に、基板の反りの曲率半径が500mm以上に調整されていることを特徴とする。【選択図】 図6
請求項（抜粋）：
透過光を減衰させる吸収型多層膜が樹脂フィルム、樹脂板若しくはガラス薄板から成る基板に設けられた吸収型多層膜NDフィルターにおいて、 上記吸収型多層膜がSiO2、Al2O3若しくはこれ等混合物から成る誘電体層とNi単体若しくはNi系合金から成る金属膜層とを交互に積層させた多層膜により構成され、かつ、この吸収型多層膜が上記基板の両面にこの基板を中心にして互いに対称な膜構造となるようにそれぞれ形成されていると共に、基板の反りの曲率半径が500mm以上に調整されていることを特徴とする吸収型多層膜NDフィルター。
IPC (3件)：
G02B 5/00 ,  B32B 7/02 ,  B32B 9/00
FI (3件)：
G02B5/00 A ,  B32B7/02 104 ,  B32B9/00 A
Fターム (21件)：
2H042AA06 ,  2H042AA11 ,  2H042AA22 ,  4F100AA19B ,  4F100AA20B ,  4F100AB09C ,  4F100AB10C ,  4F100AB11C ,  4F100AB12C ,  4F100AB16C ,  4F100AB31C ,  4F100AG00A ,  4F100AK01A ,  4F100AK45 ,  4F100BA06 ,  4F100BA08 ,  4F100EH662 ,  4F100GB41 ,  4F100JG05B ,  4F100YY00B ,  4F100YY00C
引用特許：
出願人引用 (4件)
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審査官引用 (5件)
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