特許
J-GLOBAL ID：200903097621683771
3次元形状測定装置、3次元情報計測方法及び薄膜評価測定方法
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
堀 城之
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-345436
公開番号（公開出願番号）：特開2002-148026
出願日： 2000年11月13日
公開日（公表日）： 2002年05月22日
要約：
【要約】【課題】 本発明は、3次元形状の簡単な測定、ドラム等の円筒体に形成された透明樹脂膜の膜厚の高精度な測定を実現する3次元形状測定装置、3次元情報計測方法及び薄膜評価測定方法を提供することを課題とする。【解決手段】 一対の投光部と受光部とから構成されてレーザ光を帯状に所定の範囲に放射して被測定部材に遮光される範囲を測定して非接触状態で被測定部材の外径を測定する外径計測手段と、被測定部材または外径計測手段を所定の回転軸で回転させる回転手段と、被測定部材/外径計測手段を所定の軸上で直線移動させる直線移動手段と、外径計測手段からの信号を取り込んで測定条件を制御するデータ取り込み制御手段と、回転手段と直線移動手段を制御する位置制御手段と、データ取り込み制御手段に取り込まれたデータを保存する記憶手段と、記憶手段のデータを基に所望の関数によるデータ処理を行う解析処理手段を有する。
請求項（抜粋）：
物体の3次元形状を計測する3次元形状測定装置であって、一対の投光部と受光部とから構成されてレーザ光を帯状に所定の範囲に放射して被測定部材に遮光される範囲を測定することによって非接触状態で当該被測定部材の外径を測定する外径計測手段と、前記被測定部材または前記外径計測手段を所定の回転軸で回転させる回転手段と、前記被測定部材または前記外径計測手段を所定の軸上で直線移動させる直線移動手段と、前記外径計測手段からの信号を取り込んで測定条件を制御するデータ取り込み制御手段と、前記回転手段と前記直線移動手段を制御するための位置制御手段と、前記データ取り込み制御手段に取り込まれたデータを保存するための記憶手段と、前記記憶手段のデータを基に所望の関数によってデータ処理を行う解析処理手段とを有することを特徴とする3次元形状測定装置。
IPC (4件)：
G01B 11/24
, G01B 11/06
, G01B 11/08
, G01B 11/16
G01B 11/06 Z
, G01B 11/08 Z
, G01B 11/16 Z
, G01B 11/24 A
2F065AA26
, 2F065AA30
, 2F065AA53
, 2F065AA65
, 2F065BB06
, 2F065BB16
, 2F065CC31
, 2F065FF02
, 2F065GG04
, 2F065HH05
, 2F065HH15
, 2F065JJ02
, 2F065MM04
, 2F065MM07
, 2F065PP22
, 2F065QQ13
, 2F065QQ23
, 2F065QQ41
, 2F065SS13
