特許

J-GLOBAL ID：200903097722665545

電子サイクロトロン共鳴プラズマによる電子放出カ-ボンフィルムの蒸着方法

発明者： マルク ドゥローネイ ,  マリー-ノエル スメリア
出願人/特許権者： コミツサリア タ レネルジー アトミーク
代理人 (1件)： 園田 吉隆 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-179091
公開番号（公開出願番号）：特開2000-045071
出願日： 1999年06月24日
公開日（公表日）： 2000年02月15日
要約：

【要約】【課題】 大表面フラットパネルのための製造方法を得る。【解決手段】 内部に電子サイクロトロン共鳴領域(9)を形成するプラズマチャンバにマイクロ波を照射し、混合ガスを10-4から10-3mbarの低圧化でイオン化し、イオンと電子を磁力線(6)に沿って基板(3)の方向に拡散させる導電性で電子を放出するカーボンフィルムを形成する電子サイクロトロン共鳴プラズマ蒸着方法であって、混合ガスは有機材料の分子と水素分子を含み、当該方法は、-基板(3)を昇温し、-有機材料の分子の電子サイクロトロン共鳴に対応する磁界の強さで混合ガスのイオンからプラズマを発生させ、-基板を正またはゼロの電位に分極して、プラズマと基板の間に正の電位差を生じさせ、-電子放射材料の蒸着がおきる温度まで昇温された基板に向けてプラズマを拡散させる工程を含む方法。

請求項（抜粋）：

内部に電子サイクロトロン共鳴領域を形成するプラズマチャンバにマイクロ波を照射し、混合ガスを10-4から10-3mbarの低圧化でイオン化し、イオンと電子を磁力線に沿って基板の方向に拡散させる導電性で電子を放出するカーボンフィルムを形成する電子サイクロトロン共鳴プラズマ蒸着方法であって、混合ガスは有機材料の分子と水素分子を含み、当該方法は、基板を昇温し、有機材料の分子の電子サイクロトロン共鳴に対応する磁界の強さで混合ガスのイオンからプラズマを発生させ、基板を正またはゼロの電位に分極して、プラズマと基板の間に正の電位差を生じさせ、電子放射材料の蒸着がおきる温度まで昇温された基板に向けてプラズマを拡散させる工程を含む方法。

IPC (5件)：

C23C 16/26 ,  C01B 31/02 101 ,  C01B 31/04 101 ,  C23C 16/50 ,  H05H 1/46

FI (5件)：

C23C 16/26 Z ,  C01B 31/02 101 Z ,  C01B 31/04 101 Z ,  C23C 16/50 E ,  H05H 1/46 C

引用特許：

審査官引用 (4件)

• ダイヤモンド状炭素薄膜の製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-069722   出願人：積水化学工業株式会社
• 特開平2-009787
  
• 特開昭63-265890
  
• 特開平3-267375
  

引用文献：

審査官引用 (1件)

• Field Emission Characteristics of Diamond-like Carbon Films Prepared by Electron Cyclotron Resonance