有機EL素子の製造方法

発明者：
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-295406
公開番号（公開出願番号）：特開2001-118679
出願日： 1999年10月18日
公開日（公表日）： 2001年04月27日
要約：

【要約】【課題】有機EL膜や背面電極を所定のパターンで容易に形成することができる有機EL素子の製造方法を提供することを課題とする。【解決手段】本有機EL素子の製造方法は、透明電極21が形成された透明基板1上に、所定のマスク形状を有するマスキングフィルム層4を形成した後、有機EL膜22及び背面電極23を順次形成する。このように製造することで、別途マスク板を要することがない。また、マスキングフィルム層4は粘着剤層44によって透明基板1上に固定されているため、パターン以外の部位に有機EL膜22及び背面電極23の蒸着膜が形成されることがなく、正確なパターンとすることができる。

請求項（抜粋）：

透明基板上に、透明電極、有機EL膜及び背面電極が、この順に積層されてなる有機EL素子の製造方法において、上記透明電極が形成された上記透明基板上に、所定のマスク形状を有するマスキングフィルム層を形成した後、該マスキングフィルム層の上方から物理的蒸着法により上記有機EL膜及び上記背面電極を順次形成することを特徴とする有機EL素子の製造方法。

IPC (3件)：

H05B 33/10 , C23C 14/04 , H05B 33/14

FI (3件)：

H05B 33/10 , C23C 14/04 A , H05B 33/14 A

Fターム (16件)：

3K007AB18 , 3K007CA01 , 3K007CB01 , 3K007DA00 , 3K007DB03 , 3K007FA00 , 3K007FA01 , 3K007FA02 , 4K029AA09 , 4K029BA45 , 4K029BA62 , 4K029BB02 , 4K029BB03 , 4K029BC07 , 4K029BD00 , 4K029HA03

引用特許：

審査官引用 (8件)

有機EL発光装置の製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平9-066220 出願人：出光興産株式会社
表示体用感光性樹脂板
公報種別：公開公報出願番号：特願平7-179364 出願人：東京応化工業株式会社
ホログラムの作製方法及び作製装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平6-234368 出願人：キヤノン株式会社

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