特許

J-GLOBAL ID：200903097808771720

透光性薄膜太陽電池の作製方法

発明者： 中田 年信 ,  山岸 英雄
出願人/特許権者： 鐘淵化学工業株式会社
代理人 (6件)： 深見 久郎 ,  森田 俊雄 ,  仲村 義平 ,  堀井 豊 ,  野田 久登 ,  酒井 將行
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-131889
公開番号（公開出願番号）：特開2004-330271
出願日： 2003年05月09日
公開日（公表日）： 2004年11月25日
要約：

【課題】良好な外観を有する透光性薄膜太陽電池を低コストで効率よく作製し得る方法を提供する。【解決手段】透光性薄膜太陽電池の作製方法において、透光用溝または穴をレーザスクライブで形成する際に、2焦点レンズ(24)を含むレーザ出力ヘッド(50)を用いて互いに隣接する2列の透光用溝または穴を同時に形成することを特徴としている。その2焦点レンズは、それら2焦点軸間の中央軸の周りに回転可能であることが好ましく、それら2焦点軸の間隔が0.5〜2.0mmの範囲内で調整可能であることが好ましい。【選択図】 図1

請求項（抜粋）：

透光性薄膜太陽電池の作製方法であって、透光用溝または穴をレーザスクライブで形成する際に、2焦点レンズを含むレーザ出力ヘッドを用いて互いに隣接する2列の透光用溝または穴を同時に形成することを特徴とする透光性薄膜太陽電池の作製方法。

IPC (3件)：

B23K26/00 ,  B23K26/06 ,  H01L31/042

FI (3件)：

B23K26/00 D ,  B23K26/06 A ,  H01L31/04 R

Fターム (18件)：

4E068AA05 ,  4E068AD01 ,  4E068AF01 ,  4E068CB05 ,  4E068CD04 ,  4E068CD06 ,  4E068CD14 ,  4E068DA09 ,  5F051BA03 ,  5F051BA14 ,  5F051BA16 ,  5F051EA09 ,  5F051EA10 ,  5F051EA11 ,  5F051EA16 ,  5F051FA04 ,  5F051FA06 ,  5F051GA03

引用特許：

審査官引用 (2件)

• 光加工方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平7-127523   出願人：株式会社半導体エネルギー研究所
• レーザ加工装置、多層プリント配線板の製造装置及び製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平8-326091   出願人：イビデン株式会社