特許
J-GLOBAL ID：200903097862612735
液晶パネルの貼合せ精度測定装置
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
鈴江 武彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-045753
公開番号（公開出願番号）：特開平8-240410
出願日： 1995年03月06日
公開日（公表日）： 1996年09月17日
要約：
【要約】【目的】精度の高い貼合せ精度の測定を実現することができる液晶パネルの貼合せ精度測定装置を提供する。【構成】液晶パネルの貼合せガラスの厚みによる光学収差を補正した対物レンズ19、液晶パネルに対して落射照明を行う光源14および透過照明を行う光源13を有する顕微鏡本体1を有し、液晶パネルに対する落射照明の下で対物レンズ19によりピント合わせされ得られた配線の画像と透過照明の下で対物レンズ19によりピント合わせされ得られたブラックマトリクスの画像をTVカメラ23で撮像し、この撮像された画像を画像重ね合せ装置24で重ね合わせてモニタ25に表示し、この表示された配線とブラックマトリクスのそれぞれの画像の距離関係からガラスの貼合せ誤差を測定する。
請求項（抜粋）：
2枚のガラスを液晶を介し貼合せて製造される液晶パネルの貼合せ精度測定装置において、前記液晶パネルの貼合せガラスの厚みによる光学収差を補正した対物レンズ、標本としての前記液晶パネルに対して落射照明を行う落射照明手段および前記液晶パネルに対して透過照明を行う透過照明手段を有する顕微鏡本体と、前記液晶パネルに対する落射照明の下で前記対物レンズによりピント合わせされ得られた一方のガラス側の画像と前記液晶パネルに対する透過照明の下で前記対物レンズによりピント合わせされ得られた他方のガラス側の画像を撮像する撮像手段と、この撮像手段より撮像された画像を重ね合せる画像重ね合せ手段と、この画像重ね合せ手段により得られた重ね合せ画像の距離関係から前記ガラスの貼合せ誤差を測定する測定手段とを具備したことを特徴とする液晶パネルの貼合せ精度測定装置。
引用特許：
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