特許
J-GLOBAL ID：200903097916184734

マスフローコントローラ

発明者：
西川 正巳

西川 正巳 について

, 
山口 正男

山口 正男 について


出願人/特許権者：
株式会社エステック

株式会社エステック について


代理人 (1件)： 藤本 英夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-082297
公開番号（公開出願番号）：特開2003-280745
出願日： 2002年03月25日
公開日（公表日）： 2003年10月02日
要約：
【要約】【課題】 マスローコントローラの上流側および下流側の何れにおいて圧力変動が発生しても、目的とする流量を常に安定して流すことができるマスフローコントローラを提供するを提供すること。【解決手段】 流量制御弁6と流量センサ5とを有するマスフローコントローラ1であって、流量制御弁6の上流側に配置された圧力制御弁4と、この圧力制御弁4と流量制御弁6の間に配置された圧力センサ7(第2センサ7b)と、この圧力センサ7(第2センサ7b)の出力をフィードバックすることで圧力制御弁4を制御する制御部8とを有する。
請求項（抜粋）：
流量制御弁と流量センサとを有するマスフローコントローラであって、流量制御弁の上流側に配置された圧力制御弁と、この圧力制御弁と流量制御弁の間に配置された圧力センサと、この圧力センサの出力をフィードバックすることで圧力制御弁を制御する制御部とを有することを特徴とするマスフローコントローラ。
Fターム (12件)：
5H307AA20 ,  5H307CC12 ,  5H307DD01 ,  5H307DD12 ,  5H307EE02 ,  5H307EE12 ,  5H307ES06 ,  5H307FF06 ,  5H307GG15 ,  5H307HH04 ,  5H307KK08 ,  5H307LL10
引用特許：
審査官引用 (4件)
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