特許
J-GLOBAL ID：200903097946151342
光変調器
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (5件)：
鈴江 武彦
, 河野 哲
, 中村 誠
, 村松 貞男
, 橋本 良郎
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-047366
公開番号（公開出願番号）：特開2006-201732
出願日： 2005年02月23日
公開日（公表日）： 2006年08月03日
要約：
【課題】高速で駆動電圧が低く、かつDCドリフトが小さく、製作の歩留まりの良い光変調器を提供する。【解決手段】電気光学効果を有する基板(1)と、該基板に形成された光導波路(3)と、前記基板の一方の面側に形成された中心導体(4a)及び接地導体(4b,4c)からなる電極と、光の位相を変調するための相互作用光導波路(3a,3b)を具備する光変調器において、前記基板上面の一部分に形成された第1のバッファ層(9)と、前記第1のバッファ層の上面に形成されるとともに前記基板上面まで延びて形成された導電層(10)と、前記導電層の上面の少なくとも一部に形成された第2のバッファ層(11)とが前記中心導体もしくは前記接地導体の少なくとも一方の下方に形成されており、前記中心導体もしくは前記接地導体の少なくとも一方と前記導電層が電気的に接触していることを特徴とする光変調器が提供される。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
電気光学効果を有し、少なくともx-カット又はy-カットの面方位を含む基板(1)と、該基板に形成された光を導波するための光導波路(3)と、前記光を変調するための電圧を印加する、前記基板の一方の面側に形成された中心導体(4a)及び接地導体(4b,4c)からなる電極と、前記光導波路が前記中心導体と前記接地導体との間に前記電圧を印加することにより前記光の位相を変調するための相互作用光導波路(3a,3b)とを具備する光変調器において、
前記基板上面の一部分に形成された第1のバッファ層(9)と、前記第1のバッファ層の上面に形成されるとともに前記基板上面まで延びて形成された導電層(10)と、前記導電層の上面の少なくとも一部に形成された第2のバッファ層(11)とが前記中心導体もしくは前記接地導体の少なくとも一方の下方に形成されており、
前記中心導体もしくは前記接地導体の少なくとも一方と前記導電層が電気的に接触していることを特徴とする光変調器。
IPC (1件)：
FI (1件)：
Fターム (11件)：
2H079AA02
, 2H079AA12
, 2H079BA01
, 2H079BA03
, 2H079CA04
, 2H079DA03
, 2H079DA22
, 2H079EA05
, 2H079EA08
, 2H079EB05
, 2H079HA23
出願人引用 (2件)
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特開平1-302325号公報
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光制御デバイス
公報種別：公開公報
出願番号：特願平6-309707
出願人：日本電気株式会社
審査官引用 (1件)
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