絶縁隔壁の形成方法

発明者： , , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (5件)：青木篤 , 石田敬 , 古賀哲次 , 永坂友康 , 西山雅也
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-360389
公開番号（公開出願番号）：特開2007-165137
出願日： 2005年12月14日
公開日（公表日）： 2007年06月28日
要約：

【課題】絶縁性基板上の導電膜を複数の領域に分割する絶縁隔壁を単一の工程で行なうことができる絶縁隔壁の形成方法を提供する。【解決手段】絶縁性基板上の導電膜を複数の領域に分割する絶縁隔壁を形成する方法であって、可動電極とディスペンサーとが一体に組み立てられた走査ヘッドを、上記可動電極と上記ディスペンサーとが走査方向に対して前後に並ぶ向きに配置し、上記導電膜に接触させた固定電極との間に電圧を印加した上記可動電極の先端と上記導電膜の表面とを通電状態に維持しつつ、上記走査ヘッドで該導電膜上を走査し、上記通電した部分の上記導電膜をジュール熱によりエッチング除去することにより該導電膜を分割する溝を形成し、該形成された溝に上記ディスペンサーから上記絶縁隔壁の材料を供給することにより該絶縁隔壁を形成することを特徴とする絶縁隔壁の形成方法。【選択図】図4

請求項（抜粋）：

絶縁性基板上の導電膜を複数の領域に分割する絶縁隔壁を形成する方法であって、可動電極とディスペンサーとが一体に組み立てられた走査ヘッドを、上記可動電極と上記ディスペンサーとが走査方向に対して前後に並ぶ向きに配置し、上記導電膜に接触させた固定電極との間に電圧を印加した上記可動電極の先端と上記導電膜の表面とを通電状態に維持しつつ、上記走査ヘッドで該導電膜上を走査し、上記通電した部分の上記導電膜をジュール熱によりエッチング除去することにより該導電膜を分割する溝を形成し、該形成された溝に上記ディスペンサーから上記絶縁隔壁の材料を供給することにより該絶縁隔壁を形成することを特徴とする絶縁隔壁の形成方法。

IPC (5件)：

H01M 14/00 , H01L 31/04 , H01M 2/08 , H01M 2/20 , H01M 2/22

FI (5件)：

H01M14/00 P , H01L31/04 Z , H01M2/08 Z , H01M2/20 A , H01M2/22 C

Fターム (35件)：

5F051AA14 , 5F051CB13 , 5F051CB21 , 5F051CB27 , 5F051CB30 , 5F051DA20 , 5F051EA03 , 5F051GA03 , 5H011AA09 , 5H011FF01 , 5H011GG04 , 5H011HH02 , 5H011HH09 , 5H011JJ04 , 5H011JJ15 , 5H032AA06 , 5H032AS16 , 5H032BB05 , 5H032BB06 , 5H032BB10 , 5H032CC04 , 5H032CC11 , 5H032EE04 , 5H043AA19 , 5H043BA26 , 5H043CA08 , 5H043CA22 , 5H043FA02 , 5H043FA12 , 5H043FA22 , 5H043FA26 , 5H043HA04F , 5H043JA03F , 5H043KA15F , 5H043KA22F

引用特許：

出願人引用 (7件)

特許第2664194号
特許第2101079号
光電変換素子および太陽電池
公報種別：公開公報出願番号：特願平11-364901 出願人：富士写真フイルム株式会社

全件表示

前のページに戻る