通電試験用プローブ

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (3件)：松永宣行 , 小合宗一 , 佐藤玲太郎
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-135292
公開番号（公開出願番号）：特開2004-340654
出願日： 2003年05月14日
公開日（公表日）： 2004年12月02日
要約：

【課題】針先の位置を容易にかつ正確に決定することができるようにすることにある。【解決手段】プローブは、一方向へ伸びるアーム部と、該アーム部の先端部から他方向へ伸びる針先部であって被検査体に押圧される針先を有する針先部と、前記針先と異なる箇所に形成された基準部とを含むことを特徴とする。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

第1の方向と交差する第2の方向へ伸びるアーム部と、該アーム部の先端部から前記第1の方向へ伸びる針先部であって被検査体に押圧される針先を有する針先部と、前記針先と異なる箇所に形成された基準部とを含む、支持部材に片持ち梁状に支持される通電試験用プローブ。

IPC (3件)：

G01R1/067 , G01R31/28 , H01L21/66

FI (3件)：

G01R1/067 C , H01L21/66 B , G01R31/28 K

Fターム (19件)：

2G011AA04 , 2G011AA16 , 2G011AA17 , 2G011AB01 , 2G011AB06 , 2G011AC14 , 2G011AE01 , 2G011AE03 , 2G011AF07 , 2G132AA00 , 2G132AF02 , 2G132AF07 , 2G132AL03 , 4M106AA01 , 4M106BA01 , 4M106CA01 , 4M106DD03 , 4M106DD06 , 4M106DD13

引用特許：

審査官引用 (4件)

電気部品用ソケツトにおけるコンタクト
公報種別：公開公報出願番号：特願平3-103656 出願人：山一電機株式会社
マーク付きプローブ
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-003100 出願人：株式会社日立製作所, 日立デバイスエンジニアリング株式会社
アライメントマークおよびアライメントマークの認識方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平10-156945 出願人：ソニー株式会社

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