特許
J-GLOBAL ID：200903098024638419
露光方法及び走査型露光装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
高月 亨
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-040580
公開番号（公開出願番号）：特開平8-236427
出願日： 1995年02月28日
公開日（公表日）： 1996年09月13日
要約：
【要約】【目的】 段差等により露光の不均一が生じて寸法差が生じるなどのおそれのある被露光材についても、容易な構成で寸法差発生等の問題を解決した露光方法及び走査型露光装置を提供する。【構成】 ?@露光光2をウェハ等の被露光部に照射して露光を行う際、露光光を液晶31・・・を介して被露光部に照射するとともに、該液晶を制御することにより露光光照度制御を行う。?A露光光照射部を被露光部に対して相対的に走査して露光を行う走査型露光装置において、露光光照射部と被露光部との間に区画された液晶をスリット5等に配置し、該区画された液晶は区画毎に制御可能である構成とする。
請求項（抜粋）：
露光光を被露光部に照射して露光を行う露光方法であって、露光光を液晶を介して被露光部に照射するとともに、該液晶を制御することにより露光光照度制御を行う構成としたことを特徴とする露光方法。
IPC (3件)：
H01L 21/027
, G02F 1/13 505
, G03F 7/20 521
H01L 21/30 515 E
, G02F 1/13 505
, G03F 7/20 521
, H01L 21/30 518
