特許

J-GLOBAL ID：200903098112424097

二次元位相素子及びその作製方法

発明者： 田中 一郎
出願人/特許権者： キヤノン株式会社
代理人 (1件)： 日比谷 征彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-250853
公開番号（公開出願番号）：特開2001-074921
出願日： 1999年09月03日
公開日（公表日）： 2001年03月23日
要約：

【要約】【課題】 アライメントエラーによる無効となる領域を小さくする。【解決手段】 アライメントエラーにより、一辺がaのレジストパターン23がx方向に長さdだけずれた場合のセグメントの平面図を示しており、レジストパターン23は一辺の長さが21/2aの正方形であり、クロム膜パターン21aの格子に対しては45 ゚傾いている。従って、ハッチングで示した領域61が無効な領域となり、局所的部分に限定され、その面積S3はS3=2d2で示すことができ、アライメントエラーによる無効となる領域を小さくすることができる。

請求項（抜粋）：

セグメント間のアライメントエラーを局所的部分に限定したことを特徴とする二次元位相型素子。

IPC (3件)：

G02B 5/02 ,  H01L 21/027 ,  H01L 21/3065

FI (3件)：

G02B 5/02 D ,  H01L 21/30 515 D ,  H01L 21/302 J

Fターム (12件)：

2H042BA10 ,  2H042BA15 ,  2H042BA16 ,  5F004EA33 ,  5F004EB07 ,  5F046CA02 ,  5F046CA03 ,  5F046CA04 ,  5F046CA08 ,  5F046CB01 ,  5F046CB12 ,  5F046CB23

引用特許：

審査官引用 (4件)

• 光学素子の製作方法及び該光学素子を用いた照明装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平8-281830   出願人：キヤノン株式会社
• 特開昭51-078254
  
• 特開昭58-200238
  
• 二次元位相型光学素子の作製方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2000-012881   出願人：キヤノン株式会社