特許

J-GLOBAL ID：200903098169020847

水晶振動素子とその製造方法、及びその水晶振動素子を用いた表面実装型水晶デバイス

発明者： 佐藤 健二 ,  渡辺 紀之 ,  村上 資郎 ,  畑中 和寿
出願人/特許権者： 東洋通信機株式会社
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-361574
公開番号（公開出願番号）：特開2005-130070
出願日： 2003年10月22日
公開日（公表日）： 2005年05月19日
要約：

【課題】 小型化及び低価格化に対応し、且つ、高精度な外形寸法を有する水晶振動素子とその製造方法、及びその水晶振動素子を用いた表面実装型水晶デバイスを提供する。【解決手段】へき開面が露出する短辺をZ軸に平行且つX軸のマイナス側に配設したATカットの前記水晶振動素子の製造方法であって、大型水晶母材の前記水晶振動素子に相当する水晶素板と該水晶素板の一方の短辺の角部夫々から延出する連結部と該連結部夫々の終端に接続する支持部とを大型水晶母材に区画形成するエッチング工程と、前記連結部の最狭小部分で折り割る分割工程と、を含むことを特徴とする。【選択図】 図3

請求項（抜粋）：

フォトリソグラフィーにより平面外形加工が施された短冊状の水晶振動素子であって、 該水晶振動素子の対向する一対の短辺のいずれか一方の両端に略三角形の欠落部を備えたことを特徴とする水晶振動素子。

IPC (5件)：

H03H9/19 ,  H01L41/09 ,  H01L41/18 ,  H01L41/22 ,  H03H3/02

FI (5件)：

H03H9/19 D ,  H03H3/02 C ,  H01L41/08 C ,  H01L41/18 101A ,  H01L41/22 Z

Fターム (16件)：

5J108AA01 ,  5J108BB02 ,  5J108BB03 ,  5J108CC04 ,  5J108DD02 ,  5J108EE03 ,  5J108EE07 ,  5J108EE13 ,  5J108EE17 ,  5J108FF11 ,  5J108FF13 ,  5J108JJ01 ,  5J108JJ04 ,  5J108KK01 ,  5J108KK07 ,  5J108MM11

引用特許：

出願人引用 (1件)

• フォトリソグラフィーにより作られる水晶片をエッチングして個別に分離する方法
  公報種別：公表公報   出願番号：特願平9-500458   出願人：モトローラ・インコーポレイテッド

審査官引用 (4件)

• 圧電振動子
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平10-171149   出願人：東洋通信機株式会社
• 特開昭61-220508
  
• ATカット水晶振動子及びその製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2002-096721   出願人：セイコーインスツルメンツ株式会社
• 圧電デバイス及びその製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2000-191027   出願人：松下電器産業株式会社