特許
J-GLOBAL ID：200903098227509118

多波長レーザー光学系

発明者：
飯塚 隆之

飯塚 隆之 について


出願人/特許権者：
旭光学工業株式会社

旭光学工業株式会社 について


代理人 (1件)： 金井 英幸
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-276507
公開番号（公開出願番号）：特開2001-102663
出願日： 1999年09月29日
公開日（公表日）： 2001年04月13日
要約：
【要約】【課題】 複数の波長のレーザー光によって描画面上に形成されるスポットの径を揃えること。【解決手段】 走査光学系は、複数のピーク波長で発光するレーザー光源10と、このレーザー光源10からの光束を波長に応じて複数の単色光に分離する波長分離プリズム20と、分離された光束に応じて設けられた第1,第2の変調光学系30,40と、各変調光学系30,40により変調された複数の光束を合成する合成光学系である偏光ビームスプリッター50と、合成された複数の光束を偏向させるポリゴンミラー60と、このポリゴンミラー60により偏向された光束を描画面S上に結像させる結像光学系とてのfθレンズ70とから構成されている。第1、第2の変調光学系30、40は、波長が短いレーザー光ほど結像光学系であるfθレンズ70に対する入射光束径を小さくする補正光学系としての機能を有している。
請求項（抜粋）：
複数のピーク波長で発光するレーザー光源と、前記レーザー光源から発するレーザー光を収束させて描画面上にスポットを形成する結像光学系と、前記レーザー光源の少なくとも2つのピーク波長について、前記描画面上でのスポット径が同一となるように、前記結像光学系に入射する各レーザー光の光束径を波長に応じて異ならせる補正光学系とを備え、前記補正光学系は、前記結像光学系に入射する波長λ<SB>A</SB>、λ<SB>B</SB>のレーザー光の光束径をそれぞれω'<SB>A</SB>、ω'<SB>B</SB>として、以下の条件(1)、√(λ<SB>A</SB>/λ<SB>B</SB>)<ω'<SB>A</SB>/ω'<SB>B</SB><{√(λ<SB>A</SB>/λ<SB>B</SB>)}<SP>3</SP> ...(1)を満たすことを特徴とする多波長レーザー光学系。
IPC (5件)：
H01S 3/08 ,  G02B 13/00 ,  G02B 26/10 ,  G02F 1/11 ,  H01S 3/10
FI (5件)：
G02B 13/00 ,  G02B 26/10 B ,  G02F 1/11 ,  H01S 3/10 Z ,  H01S 3/08
Fターム (25件)：
2H045AA01 ,  2H045BA02 ,  2H079AA04 ,  2H079BA01 ,  2H079CA24 ,  2H079DA02 ,  2H079HA03 ,  2H079KA01 ,  2H079KA15 ,  2H079KA18 ,  2H079KA20 ,  2H087KA19 ,  2H087LA24 ,  2H087LA25 ,  2H087LA27 ,  2H087RA41 ,  2H087RA46 ,  2H087TA04 ,  5F072AA02 ,  5F072JJ20 ,  5F072KK15 ,  5F072KK30 ,  5F072MM20 ,  5F072RR03 ,  5F072YY20
引用特許：
審査官引用 (15件)
  • 多波長電子印刷ヘッド用選択的光学要素
    公報種別：公開公報   出願番号：特願平6-157579   出願人：ゼロックスコーポレイション
  • 特開平4-204812
  • 特開平4-204812
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引用文献：
審査官引用 (3件)
  • 光工学ハンドブック, 1990, 第3版, p.514-516
  • 光工学ハンドブック, 1990, 第3版, p.514-516
  • 光工学ハンドブック, 1990, 第3版, p.514-516

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