特許
J-GLOBAL ID:200903098269934390
断面形状測定装置および断面形状測定方法
発明者:
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出願人/特許権者:
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2000-127871
公開番号(公開出願番号):特開2001-304827
出願日: 2000年04月27日
公開日(公表日): 2001年10月31日
要約:
【要約】【課題】 対象物の形状によらず断面形状を高速、高精度に測定する。【解決手段】 対象物2にレーザスリット光1を照射するレーザスリット光投光手段4と、対象物2の形状を把握することが可能な撮像範囲を有する広域測定用撮像手段7と、レーザスリット投光手段4から見て広域測定用撮像手段7と同じ方向に設けられ、対象物2を局所的に撮像する高精度測定用撮像手段9と、レーザスリット光投光手段4、広域測定用撮像手段7、高精度測定用撮像手段9に対して対象物2を相対的に移動させる移動手段13と、高精度測定用撮像手段9で撮像された撮像データ42から断面形状データを演算する演算手段17が設けられていることを特徴とする断面形状測定装置およびその測定方法。
請求項(抜粋):
対象物にレーザスリット光を照射するレーザスリット光投光手段と、該レーザスリット光投光手段を制御するレーザ制御手段と、前記対象物の形状を把握することが可能な撮像範囲を有する広域測定用撮像手段と、該広域測定用撮像手段で撮像された撮像データを格納する広域画像記憶手段と、前記レーザスリット投光手段から見て前記広域測定用撮像手段と同じ方向に設けられ、前記対象物を局所的に撮像する高精度測定用撮像手段と、該高精度測定用撮像手段で撮像された撮像データを格納する高精度画像記憶手段と、前記レーザスリット光投光手段、前記広域測定用撮像手段、前記高精度測定用撮像手段に対して前記対象物を相対的に移動させる移動手段と、前記広域測定用撮像手段、前記高精度測定用撮像手段で撮像された撮像データから断面形状データを演算する演算手段が設けられていることを特徴とする断面形状測定装置。
FI (2件):
G01B 11/24 A
, G01B 11/24 K
Fターム (20件):
2F065AA52
, 2F065CC07
, 2F065CC11
, 2F065CC35
, 2F065DD02
, 2F065DD03
, 2F065FF01
, 2F065FF02
, 2F065FF09
, 2F065GG04
, 2F065HH05
, 2F065JJ03
, 2F065JJ26
, 2F065LL10
, 2F065MM03
, 2F065MM09
, 2F065NN02
, 2F065QQ24
, 2F065QQ31
, 2F065SS13
引用特許: