特許
J-GLOBAL ID:200903098323340248
超電導体法およびリアクタ
発明者:
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出願人/特許権者:
代理人 (2件):
恩田 博宣
, 恩田 誠
公報種別:公表公報
出願番号(国際出願番号):特願2006-515358
公開番号(公開出願番号):特表2007-525790
出願日: 2004年06月02日
公開日(公表日): 2007年09月06日
要約:
酸化物膜を成長させるための方法であって、中間酸化物材料の膜(120)の表面上に反応ガス混合物(60,70)を入射することと、膜(120)の表面に隣接する領域(80)から生成ガスの少なくとも一部を除去することとを含む。反応ガス混合物(60,70)は、膜(120)の表面に対して少なくとも約5度の角度で膜(120)の表面に入射し、膜は、最大約700トル(91kPa)の全圧力を有するリアクタ(100)の一部(150,160,170)内に位置している。酸化物は、バッファ材料および超電導体材料からなるグループから選択される。
請求項(抜粋):
超電導体を製造するための方法であって、
中間超電導体材料の膜の表面上に、反応ガス混合物を入射するステップを含み、前記反応ガス混合物が、前記膜の表面に対して少なくとも約5度の角度で前記膜の表面上に入射し、前記膜が、最高約700トル(91kPa)の全圧力を有するリアクタの一部内に位置する方法。
IPC (2件):
FI (2件):
H01B13/00 565D
, H01B12/06
Fターム (9件):
5G321AA02
, 5G321AA04
, 5G321CA04
, 5G321CA21
, 5G321CA24
, 5G321CA27
, 5G321DA12
, 5G321DB41
, 5G321DB47
引用特許:
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