特許
J-GLOBAL ID：200903098394564120
高周波スイッチ並びに製造方法、及び集積化高周波スイッチアレイ
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
瀧野 秀雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-072234
公開番号（公開出願番号）：特開平11-274805
出願日： 1998年03月20日
公開日（公表日）： 1999年10月08日
要約：
【要約】【課題】 複数の高周波スイッチ間でで制御信号線を共用して少ない制御信号線数で多数の高周波スイッチを多値の制御電圧で制御し、制御信号線により占有される面積の少ない集積回路を実現すること。【解決手段】 基板11上の中心導体13と外部導体12とから構成される平面型高周波線路CPWの中心導体13にエアギャップを介して保持されブリッジの所定の一部が静電気力に応じて可撓するように構成された可動エアブリッジ18(14,15,16)と、可動エアブリッジ18(14,15,16)と平面型高周波線路CPWとの間に電位差を生じさせるための制御信号線31とを有し、可動エアブリッジ18が、内部応力の異なる複数の層を積層した構造の薄膜材料により形成されている。
請求項（抜粋）：
基板上の中心導体と外部導体とから構成される平面型高周波線路の中心導体にエアギャップを介して保持されブリッジの所定の一部が静電気力に応じて可撓するように構成された可動エアブリッジ部材と、当該可動エアブリッジ部材と当該平面型高周波線路との間に電位差を生じさせるための制御信号線とを有し、前記可動エアブリッジが、内部応力の異なる複数の層を積層した構造の薄膜材料により形成され、前記制御信号線を介して印加された電位差に基づいて生成される静電気力に応じて前記可動エアブリッジの所定の一部を撓ませるように変位させ、前記中心導体と前記外部導体との間、または中心導体に設けられた切断点の間を一時的に密に結合させることによって線路の開閉を行うようなデバイス構造を有することを特徴とする高周波スイッチ。
IPC (4件)：
H01P 1/15
, H01L 21/203
, H01P 1/12
, H01P 1/185
H01P 1/15
, H01L 21/203 Z
, H01P 1/12
, H01P 1/185
