特許
J-GLOBAL ID：200903098394842490
超音波ホーンのキャピラリ保持構造
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
田辺 良徳
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-294918
公開番号（公開出願番号）：特開平11-121546
出願日： 1997年10月13日
公開日（公表日）： 1999年04月30日
要約：
【要約】【課題】安定した保持力を確保でき、しかも保持力の経時劣化がない。【解決手段】キャピラリ取付け穴11より超音波ホーン10の先端と反対側に垂直のスリット部12を設け、かつキャピラリ取付け穴11の部分を薄肉部13とし、スリット部12をボルト22で締め付けてなる。
請求項（抜粋）：
超音波ホーンの一端に形成されたキャピラリ取付け穴にキャピラリを保持し、半導体ペレットの電極と外部リードのリードポストとの間を前記キャピラリに挿通されたワイヤで接続するワイヤボンデイング装置における超音波ホーンのキャピラリ保持構造において、前記キャピラリ取付け穴より超音波ホーンの先端と反対側に垂直のスリット部を設け、かつ前記キャピラリ取付け穴の部分を薄肉にした薄肉部とし、前記スリット部をボルトで締め付けてなることを特徴とする超音波ホーンのキャピラリ保持構造。
IPC (2件)：
H01L 21/607
, H01L 21/60 301
H01L 21/607 C
, H01L 21/60 301 G
出願人引用 (5件)
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審査官引用 (5件)
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