特許
J-GLOBAL ID：200903098457685993
荷電粒子線装置用試料ホールダ
発明者：
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出願人/特許権者：
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代理人 (1件)：
作田 康夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-244504
公開番号（公開出願番号）：特開2004-087214
出願日： 2002年08月26日
公開日（公表日）： 2004年03月18日
要約：
【課題】本発明の目的は、複数方向からの加工や観察の可能な試料ホールダを提供することにある。【解決手段】上記目的は、荷電粒子線装置用試料ホールダにおいて、ホールダに備え付けた試料台が、任意の角度に方向付けられる機構と、微動装置を備えることで達成される。このような構成によれば、微小試料片を試料台から取り外すことなく、イオンビームによる加工および任意の方向からの二次電子像および電子顕微鏡観察が可能となる。【選択図】 図3
請求項（抜粋）：
液体金属を備えたイオン源と、該イオン源から発せられたイオンビームを加速する高電圧電源と、イオンビームを試料面上に集束するレンズと、集束されたイオンビームを試料面上で走査する偏向装置と試料を固定した試料ホールダを挿入する試料室を備えた集束イオンビーム加工装置,電子を放出する電子源と該電子を加速する高電圧電源と試料上への電子の集束と、試料を透過した電子像を観察する機能を備えた電子線装置の双方に使用可能な共用試料ホールダにおいて、試料台を集束イオンビームの光軸を中心として、軸に垂直な面内を360°回転する機能を有することを特徴とする荷電粒子線装置用試料ホールダ。
IPC (2件)：
FI (2件)：
H01J37/20 A
, H01J37/317 D
5C001AA06
, 5C001BB07
, 5C001CC03
, 5C034DD09
