特許
J-GLOBAL ID：200903098541155312
スピン処理装置
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
鈴江 武彦 (外6名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-083491
公開番号（公開出願番号）：特開平11-276971
出願日： 1998年03月30日
公開日（公表日）： 1999年10月12日
要約：
【要約】【課題】 この発明は回転テーブルを回転させて基板を処理する際に、その基板にミストなどが付着するのを防止したいスピン処理装置を提供することにある。【解決手段】 カップ2と、このカップの底部中心部から内部へ挿通された回転駆動される取付体6と、この取付体に連結されて回転させられるとともに上面に基板1が保持される回転テーブル7と、上記カップの内底部に設けられこのカップ内部を上記回転テーブルの下面側で、かつ上記カップの内底部付近の第1の空間部21およびそれ以外の第2の空間部22とに隔別するとともに上面が上記カップの径方向中心部に向かって低く傾斜した傾斜面に形成された仕切り体15と、上記カップの底部に上記第1の空間部と第2の空間部との両方に連通して設けられ上記回転テーブルの回転によって発生する空気流を排出する排気管24とを具備したことを特徴とする。
請求項（抜粋）：
基板を回転させることで、この基板に所定の処理を行うスピン処理装置において、カップと、このカップの底部中心部から内部へ挿通された回転駆動される駆動体と、この駆動体に連結されて回転されるとともに上面に上記基板が保持される回転テーブルと、上記カップの内底部に設けられこのカップ内部を上記回転テーブルの下面側で、かつ上記カップの内底部付近の第1の空間部およびそれ以外の第2の空間部とに隔別するとともに上面が上記カップの径方向中心部に向かって低く傾斜した傾斜面に形成された仕切り体と、上記カップの底部に上記第1の空間部と第2の空間部との両方に連通して設けられ上記回転テーブルの回転によって発生する空気流を排出する排出手段とを具備したことを特徴とするスピン処理装置。
IPC (4件)：
B05C 11/08
, G03F 7/30 502
, H01L 21/027
, H01L 21/304 651
B05C 11/08
, G03F 7/30 502
, H01L 21/304 651 B
, H01L 21/30 564 C
