特許
J-GLOBAL ID：200903098613760526
集積回路の故障修正装置及びこの装置を用いた集積回路の故障観測方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
渡辺 喜平
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-035228
公開番号（公開出願番号）：特開平11-231029
出願日： 1998年02月17日
公開日（公表日）： 1999年08月27日
要約：
【要約】【課題】 集積回路自体の画像を光学顕微鏡とビーム装置の双方で取り込み、二つの画像を合成することで、集積回路を繰り返し観測し、正確な作業を行う。【解決手段】 集積回路1を観測する試料室10及び顕微鏡室20を備え、顕微鏡室が、集積回路を観測する光学顕微鏡22と、光学顕微鏡の光学画像を取り込むカメラ23と、カメラで取り込まれた光学画像データを記憶する光学画像記憶部24を有し、試料室が、顕微鏡室での観測終了後の集積回路にビームを照射するビーム発生装置12と、このビームにより集積回路から発生した二次電子を取り込む検出器13と、検出器で取り込まれた二次電子を画像データに変換,生成する二次電子画像生成部14を有し、光学画像記憶部に記憶された光学画像データと、二次電子生成部で生成された二次電子画像データを合成する画像合成部31と、この合成画像を表示する画像表示部32を有する構成としてある。
請求項（抜粋）：
荷電ビームを用いて集積回路の内部動作の観測及び構造解析を行い、当該集積回路の故障を修正する集積回路の故障修正装置であって、前記修正対象となる集積回路を観測する試料室及び顕微鏡室を備え、前記顕微鏡室が、前記修正対象となる集積回路を観測する光学顕微鏡と、この光学顕微鏡による光学画像を取り込むカメラと、このカメラにより取り込まれた光学画像データを記憶する光学画像記憶部とを有するとともに、前記試料室が、前記顕微鏡室での観測終了後の集積回路に荷電ビームを発生,照射するビーム発生装置と、このビーム発生装置からのビームにより前記集積回路から発生した二次電子を取り込む検出器と、この検出器により取り込まれた二次電子を画像データに変換,生成する二次電子画像生成部を有し、さらに、前記顕微鏡室の光学画像記憶部に記憶された光学画像データと、前記試料室の二次電子生成部で生成された二次電子画像データを合成する画像合成部と、この画像合成部の合成画像を表示する画像表示部を有する画像合成表示手段を備えたことを特徴とする集積回路の故障修正装置。
IPC (2件)：
FI (2件)：
G01R 31/28 L
, H01L 21/66 C
