基板固定装置

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：荒船博司 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-303467
公開番号（公開出願番号）：特開2003-110294
出願日： 2001年09月28日
公開日（公表日）： 2003年04月11日
要約：

【要約】【課題】基板を所定位置に確実に固定できる基板固定装置を提供する。【解決手段】本発明に係る基板固定装置(30)が、基板(12)の下面側に配設され、上下動するバックアッププレート(31)、バックアッププレートの上面に配設される第一の固定手段(33)、基板の上面側に配設される第二の固定手段(34)、バックアッププレートの下面側において上下動する駆動板(35)、駆動板とバックアッププレートとの間に介在する複数の弾性部材(36)等を備え、バックアッププレートの上昇により第一の固定手段と第二の固定手段とで基板を上下両側から固定する。従って、基板に反りや波打ちがある場合や、基板の前後両側縁部分で厚さが異なる場合でも、バックアッププレート及び第一の固定手段を、基板の形状に対応して傾斜させることができ、基板を正確かつ確実に固定することができる。

請求項（抜粋）：

基板の下面側に配設され、基板に対して上下動するバックアッププレートと、前記バックアッププレートの上面に配設される第一の固定手段と、基板の上面側に配設される第二の固定手段とを備え、前記バックアッププレートの上昇により前記第一の固定手段と前記第二の固定手段とで基板を上下両側から固定する基板固定装置であって、前記バックアッププレートの下面側において上下動する駆動板と、前記駆動板と前記バックアッププレートとの間に介在する複数の弾性部材とを備えることを特徴とする基板固定装置。

Fターム (9件)：

5E313AA02 , 5E313AA11 , 5E313CC05 , 5E313CC07 , 5E313CC09 , 5E313DD12 , 5E313EE02 , 5E313EE24 , 5E313FF12

引用特許：

出願人引用 (5件)

基板バックアップ装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平10-098332 出願人：芝浦メカトロニクス株式会社
基板位置決め装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平9-036197 出願人：山形カシオ株式会社
特開昭57-033941

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審査官引用 (3件)

基板バックアップ装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平10-098332 出願人：芝浦メカトロニクス株式会社
基板位置決め装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平9-036197 出願人：山形カシオ株式会社
特開昭57-033941

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