特許
J-GLOBAL ID：200903098662498632

欠陥検出方法

発明者：
中山 攻

中山 攻 について


出願人/特許権者：
株式会社リコー

株式会社リコー について


代理人 (1件)： 小島 俊郎
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-316690
公開番号（公開出願番号）：特開2003-123073
出願日： 2001年10月15日
公開日（公表日）： 2003年04月25日
要約：
【要約】【課題】 本発明はこの問題点を解決するためのものであり、良品のばらつきや外乱などを考慮した高精度な欠陥検出方法を提供することを目的とする。【解決手段】 本発明に係る欠陥検出方法によれば、先ず予め複数の良品ワークの表面状態を撮像し、得られた複数の良品ワークの画像データを参照画像とし、この参照画像をフーリエ変換することにより得られた参照画像の周波数データを参照周波数データとして準備しておく。そして、検査時には被検査物を撮像し得られた被検査物の画像データを検査画像とし、検査画像をフーリエ変換することにより得られた周波数データを検査周波数データとする。また、参照周波数データと検査周波数データを比較し、周波数特性の異なる部分を抽出し、抽出された周波数成分を欠陥周波数データとし、この欠陥周波数データを逆フーリエ変換することにより欠陥画像を作成し、この欠陥画像を処理することにより被検査物の欠陥を検出する。
請求項（抜粋）：
被検査物に照明装置により光を照射しその反射光を撮像装置で撮像し、得られた被検査物の画像データを処理することにより被検査物の欠陥を検出する欠陥検出方法において、予め複数の良品ワークの表面状態を撮像し、得られた複数の良品ワークの画像データを参照画像とし、該参照画像をフーリエ変換することにより得られた参照画像の周波数データを参照周波数データとし、検査時には被検査物を撮像し得られた被検査物の画像データを検査画像とし、検査画像をフーリエ変換することにより得られた周波数データを検査周波数データとし、参照周波数データと検査周波数データを比較し、周波数特性の異なる部分を抽出し、抽出された周波数成分を欠陥周波数データとし、該欠陥周波数データを逆フーリエ変換することにより欠陥画像を作成し、該欠陥画像を処理することにより被検査物の欠陥を検出することを特徴とする欠陥検出方法。
IPC (3件)：
G06T 7/00 300 ,  G01N 21/88 ,  G06T 1/00 305
FI (3件)：
G06T 7/00 300 H ,  G01N 21/88 J ,  G06T 1/00 305 A
Fターム (27件)：
2G051AC21 ,  2G051EA08 ,  2G051EA12 ,  2G051EB01 ,  2G051EC02 ,  2G051EC03 ,  2G051EC04 ,  2G051ED21 ,  5B057AA03 ,  5B057CA08 ,  5B057CA12 ,  5B057CA16 ,  5B057CE20 ,  5B057DA03 ,  5B057DB02 ,  5B057DB09 ,  5B057DC19 ,  5B057DC34 ,  5B057DC36 ,  5B057DC39 ,  5L096AA06 ,  5L096BA03 ,  5L096FA23 ,  5L096FA35 ,  5L096GA08 ,  5L096JA11 ,  5L096KA15
引用特許：
審査官引用 (4件)
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