セラミックセッター及びその製造方法

発明者： ,
出願人/特許権者： ,
代理人 (1件)：中村照雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-186151
公開番号（公開出願番号）：特開2003-165775
出願日： 2002年06月26日
公開日（公表日）： 2003年06月10日
要約：

【要約】【課題】セラミック積層体を焼成するのに良好な通気性を備え、焼成効率がよく、繰り返しの使用が可能なセラミックセッター及びその製造方法を提供する。【解決手段】 SiC、Si3N4、BN、AlN、MoSi2、TiN、ZrB2から選ばれる少なくとも1種類のセラミック粒子11を焼成して形成される非酸化物系セラミック材の板状の焼結体12からなるセラミックセッター10において、焼結体12が厚み方向の実質的中央の内部に1又は複数の空洞13を有し、空洞13の少なくとも1つには1又は複数の分岐部17を有すると共に、空洞13は焼結体12の側面部で開口部14を有し、しかも、焼結体12は連通する気孔15を有する多孔質体からなる。

請求項（抜粋）：

SiC、Si3N4、BN、AlN、MoSi2、TiN、ZrB2から選ばれる少なくとも1種類のセラミック粒子を焼成して形成される非酸化物系セラミック材の板状の焼結体からなるセラミックセッターにおいて、前記焼結体が厚み方向の実質的中央の内部に1又は複数の空洞を有し、該空洞の少なくとも1つには1又は複数の分岐部を有すると共に、該空洞は前記焼結体の側面部で開口部を有し、しかも、前記焼結体は連通する気孔を有する多孔質体からなることを特徴とするセラミックセッター。

IPC (3件)：

C04B 35/64 , B28B 7/34 , F27D 3/12

FI (3件)：

B28B 7/34 A , F27D 3/12 Z , C04B 35/64 J

Fターム (9件)：

4G053CA07 , 4G053CA09 , 4G053CA21 , 4G053EA03 , 4G053EB17 , 4K055HA01 , 4K055HA14 , 4K055HA23 , 4K055HA27

引用特許：

審査官引用 (7件)

セラミックス焼成用セッター
公報種別：公開公報出願番号：特願平8-211169 出願人：住友金属工業株式会社
多孔質SiC焼結体
公報種別：公開公報出願番号：特願平10-299839 出願人：東芝セラミックス株式会社
特開平4-224169

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