テレセントリック・プロジェクタを有する位相プロフィル測定システム

発明者： , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：田中香樹 (外2名)
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-552053
公開番号（公開出願番号）：特表2003-527582
出願日： 2001年01月05日
公開日（公表日）： 2003年09月16日
要約：

【要約】テレセントリック・プロジェクタを有する位相プロフィル測定システムを提供する。【解決手段】ターゲット(22)表面の高さを評価する光学システム(10)は、光を投射する光プロジェクタ(30)を含む。光は、パターン化されたレクチル(32)とプロジェクタレンズ(34)を通過し、パターンの像でターゲット(22)を照射する。光は、レクチル(32)とプロジェクタレンズ(34)との間をテレセントリックに投射され、カメラ(42)は、受光光路に沿って配置される。カメラ(42)は、受光レンズ(40)を通してターゲット(22)の像を受ける。ターゲット(22)とパターンは、互いに他に対して少なくとも3回移動し、カメラ(42)は、少なくとも3つの位置の各々においてターゲット(22)の像を取得する。

請求項（抜粋）：

ターゲットの表面の高さを評価する光学システムであって、光を投射する光プロジェクタであり、光は、パターン化されたレクチルとプロジェクタレンズを通過して前記パターンの像をもってターゲットを照射し、前記光は、前記レクチルと前記プロジェクタレンズとの間にテレセントリックに投射される、光プロジェクタと、受光光路に沿って配置されたカメラであり、前記カメラは、受光レンズを通して前記ターゲットの像を受けるように適合され、前記ターゲットと前記パターンとは、互いに他に対して少なくとも3つの位置に移動するように適合され、さらに前記カメラは、前記少なくとも3つの位置の各々における物体の像を取得するように適合されている、カメラと、を備えた光学システム。

IPC (7件)：

G01B 11/02 , G01B 11/25 , G02B 13/22 , G03B 15/00 , G06T 1/00 315 , G06T 1/00 400 , G06T 1/00 420

FI (7件)：

G01B 11/02 H , G02B 13/22 , G03B 15/00 T , G06T 1/00 315 , G06T 1/00 400 D , G06T 1/00 420 A , G01B 11/24 E

Fターム (53件)：

2F065AA09 , 2F065AA24 , 2F065AA58 , 2F065AA59 , 2F065DD06 , 2F065EE00 , 2F065EE08 , 2F065FF08 , 2F065FF67 , 2F065GG08 , 2F065HH06 , 2F065HH07 , 2F065HH12 , 2F065JJ03 , 2F065JJ09 , 2F065JJ26 , 2F065LL00 , 2F065LL04 , 2F065LL41 , 2F065LL59 , 2F065PP12 , 2F065PP23 , 2F065QQ17 , 2F065QQ26 , 2H087KA12 , 2H087LA01 , 2H087NA02 , 2H087PA01 , 2H087PA17 , 2H087PB01 , 2H087RA00 , 2H087RA35 , 2H087RA45 , 5B047AA07 , 5B047AA12 , 5B047BA02 , 5B047BB04 , 5B047BC05 , 5B047BC12 , 5B047BC14 , 5B047CA04 , 5B047CA14 , 5B047CB09 , 5B047DC09 , 5B057AA03 , 5B057BA02 , 5B057BA15 , 5B057BA19 , 5B057DA01 , 5B057DB03 , 5B057DB09 , 5B057DC03 , 5B057DC09

引用特許：

審査官引用 (3件)

面位置検出方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平8-219039 出願人：キヤノン株式会社
特開平4-249752
3次元形状計測装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平10-014622 出願人：松下電工株式会社

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