特許
J-GLOBAL ID：200903098749132227

難加工性合金スパッタリングターゲット材の製造方法

発明者：
加藤 和照

加藤 和照 について


出願人/特許権者：
三井金属鉱業株式会社

三井金属鉱業株式会社 について


代理人 (4件)： 鈴木 俊一郎 ,  牧村 浩次 ,  高畑 ちより ,  鈴木 亨
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2006-197322
公開番号（公開出願番号）：特開2008-023545
出願日： 2006年07月19日
公開日（公表日）： 2008年02月07日
要約：
【課題】難加工性合金スパッタリングターゲット材を効率的に製造する方法、具体的には、鋳造工程を工夫し、鋳塊の内部および表面部の組織のバラツキを低減し、微細均一化された鋳造組織を有する鋳塊を得ることにより、その後の塑性加工工程、たとえば、圧延工程における、圧延回数を減少でき、かつ圧延歩留まりを向上できる、難加工性合金スパッタリングターゲット材の製造方法を提供する。【解決手段】合金の鋳造工程を有し、該鋳造工程において、鋳型に合金の溶湯を注湯し、凝固させて鋳塊を得る際に、注湯された溶湯の凝固速度を1〜10mm/secの範囲に調整することを特徴とする、微細均一化された組織を有する合金スパッタリングターゲット材の製造方法。【選択図】図3
請求項（抜粋）：
合金の鋳造工程を有し、該鋳造工程において、 鋳型に合金の溶湯を注湯し、凝固させて鋳塊を得る際に、注湯された溶湯の凝固速度を1〜10mm/secの範囲に調整することを特徴とする、微細均一化された組織を有する合金スパッタリングターゲット材の製造方法。
IPC (4件)：
B22D 21/00 ,  C22C 19/07 ,  C22F 1/10 ,  B21B 3/00
FI (4件)：
B22D21/00 Z ,  C22C19/07 C ,  C22F1/10 J ,  B21B3/00 L
引用特許：
出願人引用 (4件)
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