振動ジャイロ及びその駆動方法

発明者： , ,
出願人/特許権者： ,
代理人 (1件)：松本英俊 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-260734
公開番号（公開出願番号）：特開平7-113644
出願日： 1993年10月19日
公開日（公表日）： 1995年05月02日
要約：

【要約】【目的】薄型化できる振動ジャイロを提供する。【構成】厚み方向に励振される板状圧電素子5と、この板状圧電素子5の板面に固定された板状振動子6とで振動ジャイロを構成する。

請求項（抜粋）：