特許
J-GLOBAL ID：200903098809016914
原子間力顕微鏡
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (8件)：
鈴江 武彦
, 河野 哲
, 中村 誠
, 蔵田 昌俊
, 峰 隆司
, 福原 淑弘
, 村松 貞男
, 橋本 良郎
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-342494
公開番号（公開出願番号）：特開2006-153574
出願日： 2004年11月26日
公開日（公表日）： 2006年06月15日
要約：
【課題】カンチレバーホルダーを振動させることなくカンチレバーを励振する原子間力顕微鏡を提供する。【解決手段】原子間力顕微鏡100は、カンチレバー130と、液体Lとカンチレバー130を保持するステージ110とを有している。ステージ110は、液体Lを保持するガラス板116と、カンチレバー130を保持するホルダー114と、ホルダー114を支持するベース112と、ガラス板116とホルダー114の間に配置された振動絶縁材120と、ガラス板116とベース112の間に配置された振動絶縁材122とを有している。原子間力顕微鏡100はさらに、振動を生成する振動子154と、生成された振動をガラス板116に伝達する振動伝達ブロック152とを備えている。振動伝達ブロック152はガラス板116の凹部118の底面に取り付けられている。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
液体中の試料を観察するための原子間力顕微鏡であり、
試料を保持する試料保持部と、
自由端に探針を持つ弾性変形可能なカンチレバーと、
カンチレバーと液体を保持するステージとを備えており、ステージは、液体を保持するガラス板と、カンチレバーを保持するカンチレバーホルダーと、カンチレバーホルダーを支持するステージベースと、ガラス板とカンチレバーホルダーの間とガラス板とステージベースの間に配置された振動絶縁材とを有し、カンチレバーホルダーとステージベースは振動絶縁材を介してガラス板を保持しており、試料はガラス板に保持された液体の中に置かれ、カンチレバーは試料に正対するように液体の中に置かれ、さらに、
ガラス板と液体を介してカンチレバーを振動させるための励振手段と、
試料保持部をXY方向に走査するためのXY走査手段と、
カンチレバーの自由端の振動を光学的に検出するための振動検出手段と、
XY走査手段・振動検出手段からの情報に基づいて試料情報を取得するための情報取得手段とを備えている、原子間力顕微鏡。
IPC (2件)：
FI (2件)：
G01N13/16 C
, G01N13/10 D
