原子間力顕微鏡用光てこ光学系

発明者： , ,
出願人/特許権者： ,
代理人 (1件)：鈴江武彦 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-273850
公開番号（公開出願番号）：特開2002-082037
出願日： 2000年09月08日
公開日（公表日）： 2002年03月22日
要約：

【要約】【課題】安定した高精度なカンチレバー変位検出と優れた光学顕微鏡観察を可能にする原子間力顕微鏡用光てこ光学系つまり光てこ式光学センサーを提供する。【解決手段】光てこ式光学センサー113は、カンチレバー114に照射されるセンサー光を発する半導体レーザ208と、カンチレバー114の変位に応じて移動する受光したセンサー光のスポット位置を検出する位置検出フォトダイオード210と、共働してセンサー光の往路と復路の分岐を行う四分の一波長板205と偏光ビームスプリッタ206とを有し、さらに光学顕微鏡と兼用される対物レンズ115とハーフミラー116を含んでいる。ハーフミラー116は、センサー光と光学顕微鏡の観察光や照明光との分離結合を行うもので、菱形ハーフミラープリズムで構成されており、センサー光が通る菱形ハーフミラープリズムの端面は、光てこ式光学センサー113の光学系の光軸に対して非垂直である。

請求項（抜粋）：

光学顕微鏡と組み合わされる原子間力顕微鏡のカンチレバーの変位を検出するための原子間力顕微鏡用光てこ光学系であって、カンチレバーに照射されるセンサー光を発する半導体レーザと、カンチレバーの変位に応じて移動する受光したセンサー光のスポット位置を検出する位置検出フォトダイオードと、共働してセンサー光の往路と復路の分岐を行う四分の一波長板と偏光ビームスプリッタとを有し、さらに光学顕微鏡と兼用される対物レンズとハーフミラーを含んでおり、ハーフミラーはセンサー光と光学顕微鏡の観察光や照明光との分離結合を行い、対物レンズはセンサー光を小さいスポット径に絞り、ハーフミラーは菱形ハーフミラープリズムで構成されており、センサー光が通る菱形ハーフミラープリズムの端面は、原子間力顕微鏡用光てこ光学系の光学系の光軸に対して非垂直である、原子間力顕微鏡用光てこ光学系。

IPC (4件)：

G01N 13/16 , G01B 21/30 , G02B 21/00 , G12B 21/08

FI (4件)：

G01N 13/16 A , G01B 21/30 Z , G02B 21/00 , G12B 1/00 601 D

Fターム (6件)：

2F069HH30 , 2H052AA07 , 2H052AC15 , 2H052AC27 , 2H052AC34 , 2H052AF02

引用特許：

審査官引用 (7件)

原子間力顕微鏡
公報種別：公開公報出願番号：特願平6-292460 出願人：松下電器産業株式会社
顕微鏡光学系
公報種別：公開公報出願番号：特願平3-284979 出願人：オリンパス光学工業株式会社
光てこ式変位検出器
公報種別：公開公報出願番号：特願平7-299703 出願人：株式会社ニコン

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