特許
J-GLOBAL ID：200903098870129659
樹脂エッチング液及びエッチング方法
発明者：
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出願人/特許権者：
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公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-014627
公開番号（公開出願番号）：特開平10-195214
出願日： 1997年01月10日
公開日（公表日）： 1998年07月28日
要約：
【要約】【課題】 従来のエッチング液ではエッチングが困難なポリイミド樹脂についてもエッチングが可能なエッチング液、及び各種形態の樹脂のうち、特に、ポリイミドフイルムのエッチングに好適なエッチング方法を得る。【解決手段】 脂肪族アルコール、脂肪族アミン、アルカリ金属化合物及び水を主成分とし、必要に応じて尿素、有機極性溶媒のいずれか一つまたは両方を添加せしめたエッチング液を用いる。なお、このエッチング液は、従来のエッチング液によってはエッチングが困難な、ビフェニルテトラカルボン酸二無水物とジアミノベンゼンとの重縮合により得られるポリイミド樹脂のエッチングに優先的に用いられ、このような樹脂製のポリイミドフイルムについては、エッチング液中に浸漬し、かつ、超音波を照射してエッチングするのが好ましい。
請求項（抜粋）：
少なくとも、脂肪族アルコール、脂肪族アミン、アルカリ金属化合物及び水を含有していることを特徴とする樹脂エッチング液。
IPC (3件)：
C08J 7/00 CFG
, C08J 7/00 302
, C23F 1/00 104
C08J 7/00 CFG Z
, C08J 7/00 302
, C23F 1/00 104
