X線測定装置およびその方法

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：山本寿武
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-308339
公開番号（公開出願番号）：特開平11-014561
出願日： 1997年11月11日
公開日（公表日）： 1999年01月22日
要約：

【要約】【課題】 X線反射率測定やロッキングカーブ測定の時間短縮を図るとともに、簡易な構成のX線測定装置でそれらの測定を実現する。【解決手段】発散X線を放射するX線源1と、X線源1から放射された発散X線を平行化することなく単色化して反射する湾曲モノクロメータ2と、該湾曲モノクロメータ2で反射したX線のほぼ収束点に試料Sを配置する試料台と、試料Sで反射したX線を検出するX線検出器3とを備えた構成とする。そして、X線源1から放射される発散X線を、湾曲モノクロメータ2に入射させて平行化することなく単色化するとともに、湾曲モノクロメータ2から反射したX線を、該X線のほぼ収束点上で低角度に試料Sへ入射し、かつ試料Sで反射したX線を検出する。

請求項（抜粋）：

X線を試料に入射し、試料で反射したX線を検出するX線測定装置において、発散X線を放射するX線源と、前記X線源から放射された発散X線を平行化することなく単色化して反射する湾曲モノクロメータと、該湾曲モノクロメータで反射したX線のほぼ収束点に試料を配置する試料配置手段と、前記試料で反射したX線を検出するX線検出手段とを備えたことを特徴とするX線測定装置。

IPC (3件)：

G01N 23/20 , G01N 23/201 , G21K 1/06

FI (3件)：

G01N 23/20 , G01N 23/201 , G21K 1/06 M

引用特許：

審査官引用 (5件)

X線反射プロファイル測定方法及び装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-123611 出願人：株式会社日立製作所
X線小角散乱装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平7-228542 出願人：理学電機株式会社
特開昭49-076570

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