特許
J-GLOBAL ID:200903098916258807
磁気抵抗効果型薄膜磁気ヘッド及びその製造方法
発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件):
梶原 康稔
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平10-021534
公開番号(公開出願番号):特開平11-203632
出願日: 1998年01月19日
公開日(公表日): 1999年07月30日
要約:
【要約】【課題】 磁区制御を良好に行ってノイズの発生を低減するとともに、電極のショートなどを防止して、MR型薄膜磁気ヘッドの信頼性を確保する。【解決手段】 基板10の主面上に第1のパターンで形成された素子多層膜12に、第2のパターン20で磁区制御膜及び電極膜を形成した磁気抵抗効果型薄膜磁気ヘッドにおいて、前記素子多層膜12が、前記磁区制御膜及び電極膜と一括してエッチング形成される端部12A,12Bを含むことを特徴とする。
請求項(抜粋):
基板の主面上に第1のパターンで形成された素子多層膜に、第2のパターンで磁区制御膜及び電極膜を形成した磁気抵抗効果型薄膜磁気ヘッドにおいて、前記素子多層膜が、前記磁区制御膜及び電極膜と一括してエッチング形成される端部を含むことを特徴とする磁気抵抗効果型薄膜磁気ヘッド。
引用特許:
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