特許
J-GLOBAL ID：200903098954456620
電子放出素子、電子源、及びそれを用いた画像形成装置と、それらの製造方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
豊田 善雄 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-324002
公開番号（公開出願番号）：特開平8-162012
出願日： 1994年12月02日
公開日（公表日）： 1996年06月21日
要約：
【要約】【目的】 画像形成装置等の電子源として用いられる表面伝導型電子放出素子の製造方法を提供する。【構成】 素子電極4,5を連絡する導電性薄膜3に電子放出部2が設けられた表面伝導型電子放出素子の製造方法において、導電性薄膜3の形成の際に、基板1上に有機金属溶液をノズルより噴霧して塗布する工程を有することを特徴とする。【効果】 従来のスピンナー法やディッピング法に比べ均一性の高い薄膜を形成でき、多数の素子を同時に形成した場合、各素子間の特性のバラツキを低減できる。
請求項（抜粋）：
一対の素子電極を連絡する導電性薄膜に電子放出部が設けられた表面伝導型電子放出素子の製造方法において、上記導電性薄膜を形成する工程が、基板上に、該導電性薄膜の構成元素を含む溶液をノズルより噴霧する工程を有することを特徴とする電子放出素子の製造方法。
IPC (4件)：
H01J 9/02
, H01J 1/30
, H01J 31/12
, H01J 31/15
