基板搬送装置

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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：米田潤三 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-045539
公開番号（公開出願番号）：特開2001-233451
出願日： 2000年02月23日
公開日（公表日）： 2001年08月28日
要約：

【要約】 (修正有)【課題】大面積の基板を撓ませることなく確実に安定して搬送することができる基板搬送装置を提供する。【解決手段】基板搬送装置11を、基部12から垂設された固定アーム13と、水平方向のほぼ一直線上に位置するように固定アームに設けられた複数の吸引保持部14とを備えたもの、さらに、基部から各固定アームの吸引保持部配設面に対向するように可動アーム16を垂設し、可動アームは固定アームの吸引保持部配設面の対向位置から、固定アームから離れるようにほぼ水平位置まで回動可能であり、かつ、可動アームは固定アームの吸引保持部配設面と対向する面に押圧ピン17、あるいは、吸引保持部を備えるものとする。

請求項（抜粋）：

基部と、該基部から垂設された固定アームと、水平方向のほぼ一直線上に位置するように固定アームに設けられた複数の吸引保持部と、を備えることを特徴とする基板搬送装置。

IPC (3件)：

B65G 49/06 , B25J 15/06 , H01L 21/68

FI (3件)：

B65G 49/06 A , B25J 15/06 Z , H01L 21/68 B

Fターム (27件)：

3C007DS05 , 3C007DS06 , 3C007ET02 , 3C007FS01 , 3C007FT06 , 3C007FU02 , 3C007FU06 , 3C007GU03 , 3C007HS27 , 3C007NS09 , 3F061AA03 , 3F061AA04 , 3F061BB02 , 3F061BD04 , 3F061CA01 , 3F061CB02 , 3F061CC03 , 3F061CC11 , 3F061DB04 , 3F061DC03 , 5F031CA05 , 5F031FA02 , 5F031GA16 , 5F031GA24 , 5F031GA42 , 5F031GA58 , 5F031PA18

引用特許：

審査官引用 (5件)

基板搬送システム
公報種別：公開公報出願番号：特願平9-171092 出願人：大日本印刷株式会社
エアピンセット
公報種別：公開公報出願番号：特願平3-124358 出願人：菱電セミコンダクタシステムエンジニアリング株式会社, 三菱電機株式会社
ピンセット
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-200646 出願人：新日本製鐵株式会社

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