特許
J-GLOBAL ID：200903032779385528

基板搬送システム

発明者：
平井 達人

平井 達人 について


出願人/特許権者：
大日本印刷株式会社

大日本印刷株式会社 について


代理人 (1件)： 米田 潤三 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-171092
公開番号（公開出願番号）：特開平11-005627
出願日： 1997年06月12日
公開日（公表日）： 1999年01月12日
要約：
【要約】【課題】 基板の収納間隔を小さく設定しても、基板を1枚づつ確実に搬送ケースから取り出し、あるいは、収納することができる基板搬送システムを提供する。【解決手段】 ケース姿勢制御部において、搬送ケースの係止壁部の基板並列方向が水平面に対して5〜20°の範囲内の角度θをなすように搬送ケースを傾け、基板出入部のアームを搬送ケース内に開口部からほぼ水平方向に挿入し、基板保持用の保持部材によって基板を垂直方向に対して前記角度θに近い角度で保持した状態でアームを搬送ケースから引き出して基板を1枚づつ取り出し、また、この逆の操作により基板を1枚づつ搬送ケースに収納する。
請求項（抜粋）：
開口部をもつ直方体状の収納空間を有するとともに該収納空間を区画形成する相対向した1組の係止壁部の内面に複数の基板係止部を備えた搬送ケースであって、相対向する1組の前記基板係止部間に1枚の基板を収納するようにして複数の基板を並列に収納している搬送ケースから、基板を1枚づつ取り出したり、該搬送ケースに基板を1枚づつ収納する基板搬送システムにおいて、係止壁部の基板並列方向が水平面に対して5〜20°の範囲内の角度θをなすように搬送ケースを傾けるケース姿勢制御部と、基板保持用の保持部材を備えたアームであって基板を垂直方向に対して前記角度θに近い角度で保持した状態で前記姿勢の搬送ケース内に開口部からほぼ水平方向に出入自在なアームを有する基板出入部と、を備えることを特徴とする基板搬送システム。
IPC (2件)：
B65G 49/06 ,  H01L 21/68
FI (2件)：
B65G 49/06 A ,  H01L 21/68 B
引用特許：
審査官引用 (18件)
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