特許
J-GLOBAL ID:200903099029207978
レーザ顕微鏡システム
発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件):
鈴江 武彦 (外4名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2002-128938
公開番号(公開出願番号):特開2003-322799
出願日: 2002年04月30日
公開日(公表日): 2003年11月14日
要約:
【要約】【課題】 レーザ光の出射波長の変更に対してもレーザ顕微鏡の光軸調整を精度よく行うことができる顕微鏡システムを提供する。【解決手段】 レーザ光の出射波長を変更可能にしたレーザ発生手段1より出射されたレーザ光を反射する反射ミラー3を配置するとともに、この反射ミラー3を載置して光軸2に沿った方向に平行移動可能にした平行移動機構4を設け、反射ミラー3で反射され、レーザ顕微鏡に入射されるレーザ光のスポット位置をラインセンサ9で検出し、このラインセンサ9で検出されたレーザ光のスポット位置に基づいて、ラインセンサ9上でのスポット位置が所定位置となるように平行移動機構4により反射ミラー3を移動させる。
請求項(抜粋):
レーザ光の出射波長を変更可能にしたレーザ発生手段と、前記レーザ発生手段より出射されたレーザ光を偏向させる光学部材と、前記光学部材を移動させる移動手段と、前記光学部材で偏向されるレーザ光が入射されるレーザ顕微鏡と、前記レーザ顕微鏡に入射されるレーザ光の位置を検出する位置センサと、前記位置センサで検出されたレーザ光の位置に基づいて前記位置センサ上の前記レーザ光の位置が所定位置となるように前記移動手段による前記光学部材の移動を制御する制御手段とを具備したことを特徴とするレーザ顕微鏡システム。
IPC (5件):
G02B 21/00
, G01B 11/00
, G02B 21/06
, H01S 3/00
, H01S 3/101
FI (5件):
G02B 21/00
, G01B 11/00 A
, G02B 21/06
, H01S 3/00 F
, H01S 3/101
Fターム (32件):
2F065AA01
, 2F065AA19
, 2F065AA20
, 2F065BB01
, 2F065BB30
, 2F065DD06
, 2F065FF04
, 2F065FF23
, 2F065FF41
, 2F065GG04
, 2F065GG25
, 2F065HH04
, 2F065JJ02
, 2F065JJ03
, 2F065JJ25
, 2F065JJ26
, 2F065LL12
, 2F065NN20
, 2F065PP24
, 2F065QQ28
, 2F065TT08
, 2H052AA07
, 2H052AA08
, 2H052AA09
, 2H052AC27
, 2H052AC34
, 5F072JJ08
, 5F072KK05
, 5F072KK30
, 5F072MM13
, 5F072SS10
, 5F072YY11
引用特許:
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