特許
J-GLOBAL ID：200903099073331759

陰極スパッタリング装置のフラッシュオ-バ抑圧装置

発明者：
ヴォルフラム マ-ス

ヴォルフラム マ-ス について


出願人/特許権者：
レイボルト アクチーエンゲゼルシャフト

レイボルト アクチーエンゲゼルシャフト について


代理人 (1件)： 鈴木 弘男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-295479
公開番号（公開出願番号）：特開平8-225935
出願日： 1995年11月14日
公開日（公表日）： 1996年09月03日
要約：
【要約】【課題】 少なくとも1つの陰極が交流電圧源に接続されているスパッタリング装置におけるフラッシュオーバを抑圧する装置を提供する。【解決手段】 本発明は、“大きいアーク”に先行するいわゆる“微小アーク”が臨界数発生したことを検出すると交流電圧源を迅速に遮断することができる。大きいアークと微小アークとを区別するために、特別な計数及び評価装置が設けられている。
請求項（抜粋）：
少なくとも1つの陰極が交流電圧源に接続されている陰極スパッタリング装置におけるフラッシュオーバを抑圧する装置において、a)上記交流電圧源は中間周波数電圧源であり、b)微小フラッシュオーバを認識する装置が設けられ、c)微小フラッシュオーバの数をカウントする装置が設けられ、d)所与の数の微小フラッシュオーバが発生した後に、もしくは所与の頻度で微小フラッシュオーバが存在する場合には、大きいフラッシュオーバを阻止するように調整する装置が設けられていることを特徴とする装置。
IPC (4件)：
C23C 14/34 ,  C23C 14/40 ,  H01J 37/32 ,  H05H 1/46
FI (4件)：
C23C 14/34 U ,  C23C 14/40 ,  H01J 37/32 ,  H05H 1/46 R
引用特許：
審査官引用 (10件)
全件表示

前のページに戻る

TOP

BOTTOM