特許
J-GLOBAL ID:200903099077518373
ナノインデンテーション試験の検証方法
発明者:
,
出願人/特許権者:
,
代理人 (2件):
平山 一幸
, 篠田 哲也
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2006-327573
公開番号(公開出願番号):特開2008-139220
出願日: 2006年12月04日
公開日(公表日): 2008年06月19日
要約:
【課題】ナノインデンテーション試験の信頼性を向上させるため、より明確で簡便なナノインデンテーション試験の検証方法を提供することにある。【解決手段】タングステン等の金属単結晶から成る基準片12の表面に対して、圧子14の先端を押し込んでその押し込み深さを測定するナノインデンテーション試験における圧子先端の曲率半径等の変化を検出する検証方法であって、圧子14の先端を基準片12の表面に対して荷重をかけて押し込んでその最大押し込み深さを測定すると共に、圧子14の先端の押し込みによるポップイン発生直前の押し込み深さを測定し、これらの最大押し込み深さとポップイン発生直前の押し込み深さ又はこれらの差のうち、少なくとも二つ以上の値を監視して、これらの値の変化に基づいて圧子14の先端の変化を検出する。【選択図】図1
請求項(抜粋):
タングステン等の金属単結晶から成る基準片の表面に対して圧子先端を押し込んで、その押し込み深さを測定するナノインデンテーション試験における圧子先端の曲率半径等の変化を検出する検証方法であって、
圧子先端を基準片の表面に対して荷重をかけて押し込んで、その最大押し込み深さを測定すると共に、
圧子先端の押し込みによるポップイン発生直前の押し込み深さを測定し、
これらの最大押し込み深さとポップイン発生直前の押し込み深さまたはこれらの差のうち少なくとも二つ以上の値を監視して、
これらの値の変化に基づいて、圧子先端の変化を検出することを特徴とする、ナノインデンテーション試験の検証方法。
IPC (1件):
FI (1件):
引用特許:
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